公开(公告)号：KR101190208B1

公开(公告)日：2012-10-16

申请号：KR1020100015713

申请日：2010-02-22

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 홍상희 ,  강우석 ,  김현수

IPC: H05H1/24 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/205

Abstract: 본 발명은 기존의 표면처리용 분사형 대기압 저온플라즈마 발생장치의 단점을 보완하기 위해서 고안된 것으로서, 전극의 냉각을 통해 방전기의 온도를 안정적으로 유지할 수 있도록 하고, 전극의 형태 및 구조 변경을 통하여 플라즈마의 발생영역을 극대화 하고, 분사영역내의 화학적 활성종의 밀도증가 및 활성상태 유지시간 향상을 통하여 충분한 분사거리를 확보할 수 있고, 다수의 전극을 사용하여 대면적의 플라즈마를 발생시켜 대면적 시편의 균일한 처리가 가능하도 플라즈마 발생기를 구성하는 장치에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR1020110096328A

公开(公告)日：2011-08-30

申请号：KR1020100015713

申请日：2010-02-22

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 홍상희 ,  강우석 ,  김현수

IPC: H05H1/24 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/205

CPC classification number: H05H1/2406 ,  H01J37/32348 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32807 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/2412 ,  H05H2001/2418 ,  H05H2001/2425 ,  H05H2242/10

Abstract: PURPOSE: An atmospheric pressure cold plasma generation apparatus with an electrode part cooling apparatus for surface processing is provided to use a metal with superior heat transfer performance, thereby effectively controlling heat generated from discharging and dielectric heating of a dielectric substance. CONSTITUTION: The outside of all metal electrodes is surrounded by a dielectric substance(3). A cooling channel for cooling is formed inside the electrode. A coolant is inserted to a coolant injection channel(4) in the center of the metal electrode. A coolant discharge channel(5) is formed in an edge part of the metal electrode. The coolant injection and discharge channels have various shapes according to the shape of the metal electrode. The coolant is circulating channels inside. The coolant is able to be made using various fluids from the simplest water to inert gas. A fin shaped structure is formed inside a cooling channel in order to increase specific surface area.

Abstract translation: 目的：提供具有表面处理用电极部冷却装置的大气压冷等离子体发生装置，以使用具有优良传热性能的金属，从而有效地控制电介质的放电和电介质加热产生的热量。 构成：所有金属电极的外部被介电物质（3）包围。 在电极内形成用于冷却的冷却通道。 冷却剂插入到金属电极中心的冷却剂注入通道（4）中。 冷却剂排出通道（5）形成在金属电极的边缘部分中。 冷却剂喷射和排出通道根据金属电极的形状具有各种形状。 冷却液内部有循环通道。 冷却液能够使用各种流体从最简单的水到惰性气体制成。 为了提高比表面积，在冷却通道内形成翅片状结构。