公开(公告)号：KR101910268B1

公开(公告)日：2018-10-19

申请号：KR1020170024065

申请日：2017-02-23

Applicant: 에스케이 주식회사 ,  서울대학교산학협력단

Inventor： 강명주 ,  곽지훈 ,  김현욱 ,  김상연 ,  송경민 ,  노형민 ,  안성권 ,  박수범 ,  최한수 ,  곽민곤 ,  문용식 ,  손명승 ,  이민환 ,  박준택 ,  정항덕

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/88

Abstract: 반도체 GP 예측방법및 시스템이제공된다. 본발명의실시예에따른반도체 GP 예측방법은, 광학검사결과에대한딥러닝을통해예측한 GP에기초하여웨이퍼를선별하여 SEM 검사를수행함으로써, 시간과비용이많이소요되는 SEM 검사를효율적으로수행한다. 이에의해, 중대결함발견확률을높일수 있고, 광학검사에대한딥러닝을통해예측한 GP에기초하여웨이퍼를선별함에있어다이에대한 GP와웨이퍼에대한 GP 모두를복합적으로고려하여신뢰성높은선별을가능하게한다.

公开(公告)号：KR101954001B1

公开(公告)日：2019-05-23

申请号：KR1020170164882

申请日：2017-12-04

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 홍성수 ,  김정호 ,  박대동 ,  김상욱 ,  문용식

IPC: G06F11/14

公开(公告)号：KR101959619B1

公开(公告)日：2019-07-02

申请号：KR1020170024064

申请日：2017-02-23

Applicant: 에스케이 주식회사 ,  서울대학교산학협력단

Inventor： 강명주 ,  곽지훈 ,  김현욱 ,  송경민 ,  안성권 ,  문용식 ,  손명승 ,  이민환 ,  박준택 ,  정항덕

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67

公开(公告)号：KR1020180097282A

公开(公告)日：2018-08-31

申请号：KR1020170024065

申请日：2017-02-23

Applicant: 에스케이 주식회사 ,  서울대학교산학협력단

Inventor： 강명주 ,  곽지훈 ,  김현욱 ,  김상연 ,  송경민 ,  노형민 ,  안성권 ,  박수범 ,  최한수 ,  곽민곤 ,  문용식 ,  손명승 ,  이민환 ,  박준택 ,  정항덕

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/88

CPC classification number: H01L22/20 ,  G01N21/88 ,  H01L22/30

Abstract: 반도체 GP 예측방법및 시스템이제공된다. 본발명의실시예에따른반도체 GP 예측방법은, 광학검사결과에대한딥러닝을통해예측한 GP에기초하여웨이퍼를선별하여 SEM 검사를수행함으로써, 시간과비용이많이소요되는 SEM 검사를효율적으로수행한다. 이에의해, 중대결함발견확률을높일수 있고, 광학검사에대한딥러닝을통해예측한 GP에기초하여웨이퍼를선별함에있어다이에대한 GP와웨이퍼에대한 GP 모두를복합적으로고려하여신뢰성높은선별을가능하게한다.