公开(公告)号：KR102216735B1

公开(公告)日：2021-02-16

申请号：KR1020190130914

申请日：2019-10-21

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 고승환 ,  김동관 ,  방준혁 ,  최성율

IPC: H01L29/06 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/78 ,  H01L23/00

Abstract: 본발명은레이저패터닝을이용한금속나노와이어기반복합전극의제조방법에관한것으로서, 특히, 희생층기판위에나노소재를이용하여나노미터단위의금속나노와이어네트워크를필름형태로형성하는금속나노와이어네트워크형성단계(이하, '제1단계'라칭함), 상기제1단계에의하여형성된상기금속나노와이어네트워크필름층이담지되도록신축성폴리머(PUA)를도포하는폴리머도포단계(이하, '제2단계'라칭함), 상기제2단계후 자외선(UV) 레이저기기를이용한소정의패터닝조사를통해상기신축성폴리머를경화시겨전극부를형성하는레이저조사단계(이하, '제3단계'라칭함) 및상기제3단계에의하여형성된전극부를상기희생층기판으로부터타겟기판으로이송시키는전극부이송단계(이하, '제4단계'라칭함)를포함함으로써, 기계적및 화학적안정성을향상시키는이점을제공한다.