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公开(公告)号:KR102079177B1
公开(公告)日:2020-02-19
申请号:KR1020180057225
申请日:2018-05-18
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H01L21/02 , H01L21/324
公开(公告)号:KR102079177B1
公开(公告)日:2020-02-19
申请号:KR1020180057225
申请日:2018-05-18
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H01L21/02 , H01L21/324