公开(公告)号：WO2017003006A1

公开(公告)日：2017-01-05

申请号：PCT/KR2015/007399

申请日：2015-07-16

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 김기범 ,  유재석 ,  김형준

IPC: B82B1/00 ,  C12Q1/68 ,  G01N33/50 ,  B82Y15/00

CPC classification number: G01N33/48721 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0353 ,  B81C1/00087 ,  C12Q1/6869 ,  H01L21/465 ,  H01L29/24 ,  C12Q2565/631

Abstract: 본 발명은 절연성 지지부재 상에 형성된 나노포어 구조를 이용한 나노포어 구조체, 그 제조방법 및 나노포어 구조를 이용한 이온 소자에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 나노포어 구조체는 실리콘 및 실리콘을 함유하는 화합물 중 적어도 하나를 포함하여 이루어지며 중앙부에 일측과 타측을 관통하는 마이크로포어가 형성되어 있는 절연성 지지부재와, 질화실리콘(SiN)을 포함하여 이루어지며 상기 절연성 지지부재 상에 배치되고 중앙부에 상기 마이크로포어와 연통되도록 상기 마이크로포어보다 크기가 작은 나노포어가 형성되어 있는 나노포어 막을 구비하고, 상기 나노포어 막과 상기 절연성 지지부재는 친수성 표면처리에 의해 부착된다.

Abstract translation: 本发明涉及使用在绝缘支撑构件上形成的纳米孔，纳米孔结构制造方法和使用该纳米孔的离子元件的纳米孔结构。 根据本发明的一个实施方案的纳米孔结构包括：绝缘支撑构件，其包括硅和含硅化合物中的至少一种，并且在中心部分具有穿过绝缘体的一侧和另一侧的微孔 支持会员 以及包含氮化硅（SiN）的纳米孔膜，其设置在所述绝缘支撑构件上，并且在所述纳米孔膜的中心部分具有小于并与所述微孔连通的纳米孔，其中所述纳米孔膜和所述绝缘支撑体 构件通过亲水表面处理附着。

公开(公告)号：KR102034304B1

公开(公告)日：2019-10-18

申请号：KR1020170184811

申请日：2017-12-29

Applicant: 한국과학기술연구원 ,  서울대학교산학협력단 ,  한국생명공학연구원

Inventor： 이지은 ,  이철주 ,  이준석 ,  홍성철 ,  박대찬 ,  옥명렬 ,  우상욱 ,  김기범 ,  김현미 ,  유재석 ,  지승욱 ,  이미경 ,  곽동규

IPC: G01N33/487 ,  G01N33/68 ,  G01N33/58 ,  G01N27/327

公开(公告)号：KR1020170004176A

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：KR1020150094159

申请日：2015-07-01

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 김기범 ,  유재석 ,  김형준

IPC: B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  G01N27/416 ,  G01N33/487 ,  C12Q1/68

CPC classification number: G01N33/48721 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0353 ,  B81C1/00087 ,  C12Q1/6869 ,  H01L21/465 ,  H01L29/24 ,  C12Q2565/631

Abstract: 본발명은절연성지지부재상에형성된나노포어구조를이용한나노포어구조체, 그제조방법및 나노포어구조를이용한이온소자에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른나노포어구조체는실리콘및 실리콘을함유하는화합물중 적어도하나를포함하여이루어지며중앙부에일측과타측을관통하는마이크로포어가형성되어있는절연성지지부재와, 질화실리콘(SiN)을포함하여이루어지며상기절연성지지부재상에배치되고중앙부에상기마이크로포어와연통되도록상기마이크로포어보다크기가작은나노포어가형성되어있는나노포어막을구비하고, 상기나노포어막과상기절연성지지부재는친수성표면처리에의해부착된다.

Abstract translation: 本发明涉及使用在绝缘支撑构件上形成的纳米孔，纳米孔结构制造方法和使用该纳米孔的离子元件的纳米孔结构。 根据本发明的一个实施方案的纳米孔结构包括：绝缘支撑构件，其包括硅和含硅化合物中的至少一种，并且在中心部分具有穿过绝缘体的一侧和另一侧的微孔 支持会员 以及包含氮化硅（SiN）的纳米孔膜，其设置在所述绝缘支撑构件上，并且在所述纳米孔膜的中心部分具有小于并与所述微孔连通的纳米孔，其中所述纳米孔膜和所述绝缘支撑体 构件通过亲水表面处理附着。

公开(公告)号：KR101759093B1

公开(公告)日：2017-07-18

申请号：KR1020150094159

申请日：2015-07-01

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 김기범 ,  유재석 ,  김형준

IPC: B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  G01N27/416 ,  G01N33/487 ,  C12Q1/68

CPC classification number: G01N33/48721 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0353 ,  B81C1/00087 ,  C12Q1/6869 ,  H01L21/465 ,  H01L29/24 ,  C12Q2565/631

Abstract: 본발명은절연성지지부재상에형성된나노포어구조를이용한나노포어구조체, 그제조방법및 나노포어구조를이용한이온소자에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른나노포어구조체는실리콘및 실리콘을함유하는화합물중 적어도하나를포함하여이루어지며중앙부에일측과타측을관통하는마이크로포어가형성되어있는절연성지지부재와, 질화실리콘(SiN)을포함하여이루어지며상기절연성지지부재상에배치되고중앙부에상기마이크로포어와연통되도록상기마이크로포어보다크기가작은나노포어가형성되어있는나노포어막을구비하고, 상기나노포어막과상기절연성지지부재는친수성표면처리에의해부착된다.