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公开(公告)号:KR1020110116355A
公开(公告)日:2011-10-26
申请号:KR1020100035731
申请日:2010-04-19
Applicant: 서울대학교산학협력단
Inventor: 이정훈 , 이혜민 , 이성준
IPC: G01N27/12 , B82B3/00 , H01L21/28
Abstract: 본 발명은 나노 스케일의 그라스(grass) 형상의 고분자 층을 이용한 습도 감지용 센서의 제조 방법 및 이를 이용한 습도 센서에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 종래의 플랫(flat) 형상의 고분자 층을 이용한 습도 센서에 비해 표면적 대 부피비를 최대 338배까지 향상시켜 감지 능력과 안정성을 향상시킨 습도 센서의 제조 방법 및 이를 이용한 습도 센서에 관한 것이다.
公开(公告)号:KR102102574B1
公开(公告)日:2020-04-20
申请号:KR1020200012660
申请日:2020-02-03
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 , 서울대학교산학협력단
Inventor: 윤현식 , 이원보 , 이혜민 , 배중건
IPC: G01N3/20 , G01B21/32 , G01N3/02 , G06F17/10