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公开(公告)号:KR101684578B1
公开(公告)日:2016-12-08
申请号:KR1020130081790
申请日:2013-07-11
Applicant: 서울대학교산학협력단 , 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단
CPC classification number: C25D5/024 , C25D3/50 , C25D9/02 , C25D9/08 , C25D17/10 , H01L21/0242 , H01L21/0256 , H01L21/02628 , H01L21/02639 , H01L31/1884 , H01L51/0014 , Y02E10/549
Abstract: 패턴의형성방법, 및상기방법을이용한촉매및 전자소자를제공한다. 상기패턴의형성방법은표면에광전도성재료층(photoconductive material layer) 및산화물층을순차로포함하는기판을준비하는단계; 상기기판의산화물층상의패턴을형성하고자하는영역에전해액을접촉시키는단계; 상기기판및 상기전해액을각각전원에연결된제 1 전극및 제 2 전극과연결시키는단계; 및상기전해액에선택적으로광원을조사하고상기제1 전극또는제2 전극에전압을인가하여상기기판의산화물층상에패턴을직접형성하는단계;를포함한다.
Abstract translation: 提供了形成图案的方法,以及使用该方法的催化剂和电子元件。 形成图案的方法包括以下步骤:在表面上依次制备包括光电导材料层和氧化物层的基板; 在基板的氧化物层上形成其上形成图案的区域与电解质接触; 将所述基板和所述电解质分别连接到连接到电源的第一电极和第二电极; 并且选择性地将来自光源的光照射到所述电解质,并向所述第一电极或所述第二电极施加电压,从而在所述基板的氧化物层上直接形成所述图案。
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公开(公告)号:KR102123618B1
公开(公告)日:2020-06-17
申请号:KR1020180045676
申请日:2018-04-19
Applicant: 서울대학교산학협력단 , 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단
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公开(公告)号:KR1020150007606A
公开(公告)日:2015-01-21
申请号:KR1020130081790
申请日:2013-07-11
Applicant: 서울대학교산학협력단 , 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단
CPC classification number: C25D5/024 , C25D3/50 , C25D9/02 , C25D9/08 , C25D17/10 , H01L21/0242 , H01L21/0256 , H01L21/02628 , H01L21/02639 , H01L31/1884 , H01L51/0014 , Y02E10/549 , C25D7/06 , C25D21/12
Abstract: 패턴의 형성방법, 및 상기 방법을 이용한 촉매 및 전자 소자를 제공한다. 상기 패턴의 형성방법은 표면에 광전도성 재료층(photoconductive material layer) 및 산화물층을 순차로 포함하는 기판을 준비하는 단계; 상기 기판의 산화물층 상의 패턴을 형성하고자 하는 영역에 전해액을 접촉시키는 단계; 상기 기판 및 상기 전해액을 각각 전원에 연결된 제 1 전극 및 제 2 전극과 연결시키는 단계; 및 상기 전해액에 선택적으로 광원을 조사하고 상기 제1 전극 또는 제2 전극에 전압을 인가하여 상기 기판의 산화물층 상에 패턴을 직접 형성하는 단계;를 포함한다.
Abstract translation: 提供了图案形成方法和催化剂以及使用其的电子装置。 图案形成方法包括:依次制备包括光电导材料层和在其表面上形成的氧化物层的衬底的步骤; 允许电解液接触形成在衬底的氧化物层上并需要具有图案的区域的步骤; 将基板和电解质分别连接到连接到电源的第一和第二电极的步骤; 以及通过选择性地将电源发射到电解质并通过向第一或第二电极施加电压而直接在衬底的氧化物层上形成图案的步骤。
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