Abstract:
탄소나노튜브를 포함하는 박막 트랜스듀서용 멤브레인, 그 제조방법 및 이를 이용하는 박막 트랜스듀서가 제공된다. 본 발명에 따른 박막 트랜스듀서용 멤브레인은 전극을 포함하는 기판, 상기 기판과 소정 간격으로 이격된 멤브레인을 포함하며, 상기 멤브레인 표면에서의 물질결합에 따라 멤브레인이 변형되는 박막 트랜스듀서용 멤브레인에 있어서, 상기 멤브레인은 절연막; 및 상기 절연막 상에 적층되며, 탄소나노튜브를 포함하는 금속막을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract:
PURPOSE: A membrane containing a carbon nano-tube for a thin film transducer, a manufacturing method thereof, and a thin film transducer using the same are provided to enable bio sensing when biological active materials are coupled to each other at a carbon nano-tube. CONSTITUTION: A membrane containing a carbon nano-tube for a thin film transducer comprises a substrate(110) and a membrane(120). The substrate comprises an electrode. The membrane is separated from the substrate. The membrane comprises an insulation film and a metal film. The metal film is loaded on the insulation film and comprises a carbon nano-tube.