公开(公告)号：KR101895802B1

公开(公告)日：2018-09-07

申请号：KR1020170027356

申请日：2017-03-02

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 윤영빈 ,  정연재 ,  정석규

IPC: G01B7/06 ,  B05B12/00

CPC classification number: G01B7/066 ,  B05B12/00

Abstract: 본발명은복수개의전극층을이용한인젝터내부액막두께측정장치에관한것으로서, 유체를공급하는유체공급부; 내부에오리피스가형성되며, 상기유체공급부로부터유체를공급받아상기오리피스의내부에액막을형성하는인젝터; 복수개로마련되어상기오리피스의길이방향을따라적층되는형태로설치되는전극층; 상기전극층에전기적으로연결되어상기전극층에전압을인가하며, 상기전극층에서의전압의변화를형성하는회로부; 상기회로부에전기적으로연결되며, 상기전극층에서의전압의변화에기초하여상기전극층의전압신호를측정하는측정부; 및상기측정부에전기적으로연결되어상기측정부로부터전달되는전압신호를기초로상기오리피스의길이방향에따른상기액막의두께를연산하는연산부를포함하되, 상기회로부는, 전압을형성하는함수발생부와, 상기함수발생부와상기전극층에전기적으로연결되어상기함수발생부의전압을상기전극층으로전달하며상기전극층에서의전압의변화를형성하는테스트회로부를포함하며, 상기함수발생부가형성하는전압은, 분극현상이방지되도록구형파전압으로마련되며, 상기전극층은, 상기오리피스가삽입되는관통홀이형성되며적층가능하도록상부와하부가상보적인형상으로마련되는케이스와, 상기케이스에수용되며금속체로마련되며한쌍으로마련되어상기테스트회로부에각각연결되는도체판과, 상기케이스에수용되며절연체로마련되어상기도체판에접촉되도록배치되는절연판을포함한다.본발명에따르면, 인젝터내부의액막의두께를직접적으로측정할수 있다.