公开(公告)号：WO2011096754A3

公开(公告)日：2011-08-11

申请号：PCT/KR2011/000765

申请日：2011-02-07

Applicant: 서울대학교산학협력단 ,  곽문규 ,  서갑양 ,  정훈의

Inventor： 곽문규 ,  서갑양 ,  정훈의

IPC: C03C23/00 ,  C03B35/00 ,  C09J5/00

Abstract: 구조물의 탈부착에 대한 편의성이 현저히 향상되며, 구조물을 유동 없이 안정되게 지지하는 미세섬모를 가지는 접착시스템을 이용한 구조물의 상향식 가공방법 및 가공장치가 개시된다. 이를 위하여 미세섬모를 가지는 접착시스템을 이용하여 구조물의 상면을 접착하는 단계, 및 상기 구조물의 하부에서 상 방향으로 상기 구조물의 하면을 가공하는 단계를 포함하는 미세섬모를 가지는 접착시스템을 이용한 구조물의 상향식 가공방법 및 가공장치를 제공한다. 이에 따르면, 가공공정 시 가공 대상인 구조물의 전면에 균일한 지지력을 제공하여 상기 구조물의 일부에 처짐 현상이 발생되는 것을 방지함으로써, 완성된 제품의 불량률을 저하시킬 수 있다.

公开(公告)号：WO2011065621A1

公开(公告)日：2011-06-03

申请号：PCT/KR2009/007737

申请日：2009-12-23

Applicant: 서울대학교산학협력단 ,  서갑양 ,  정훈의 ,  곽문규

Inventor： 서갑양 ,  정훈의 ,  곽문규

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/06 ,  B65G47/91 ,  D06C11/00

CPC classification number: H01L21/6838

Abstract: 현저히 향상된 접착력을 가지고 탈부착을 용이하게 제어할 수 있는 진공접착을 위한 미세섬모 구조물, 이의 사용방법 및 제조방법이 개시되어 있다. 이를 위하여 기판, 상기 기판 상에 형성된 미세섬모, 그리고 상기 미세섬모의 상단에 형성되고, 상기 미세섬모에서 돌출되어 접착 대상물 접촉하는 돌기와 진공접착을 위하여 상기 돌기 내부에 형성된 홈을 가지는 진공접착부를 포함하는 진공접착을 위한 미세섬모 구조물과 그 사용방법 및 제조방법을 제공한다. 본 발명에 의하면, 반데르발스 힘뿐만 아니라, 모세관력이나 진공압을 접착에 이용할 수 있어 미세섬모의 대상물에의 접착력을 현저히 개선할 수 있다. 그리고 미세섬모가 형성된 기판을 구부리거나, 또는 미세섬모의 접착대상에의 접촉각도를 조절하여 탈리나 부착을 사용자의 의도대로 별도의 장비나 공정 없이 간단히 제어할 수 있다.

Abstract translation: 公开了一种用于真空附着的微型纤维结构，具有显着改善的粘合性和容易控制的可剥离性和可连接性，以及其使用和制造方法。 为此，为了真空附着的微型纤维结构体及其使用和制造方法，微型纤毛结构体包括：基材; 基底上形成微小纤毛; 以及形成在每个微型纤维的顶端上的真空附着部分，并且包括从微型薄片突出的突起以接触待粘附的物体的凸起，以及形成在突起中的凹部以实现真空粘附。 根据本发明，由于可以使用范德华力以及毛细管力或负压进行粘合，因此可以显着提高微型纤毛对物体的粘附性。 此外，可以根据使用者的需要，通过弯曲形成有微小纤维的基板，或者通过控制微小纤维和物体之间的粘合角度来简单地控制剥离或粘附，而不需要单独的设备或工艺 它们被粘附。

公开(公告)号：WO2010123162A1

公开(公告)日：2010-10-28

申请号：PCT/KR2009/002052

申请日：2009-04-20

Applicant: 서울대학교산학협력단 ,  서갑양 ,  정훈의 ,  곽노균

Inventor： 서갑양 ,  정훈의 ,  곽노균

IPC: H01L21/027 ,  B82B3/00

CPC classification number: B81C1/0046 ,  B81B2203/04 ,  B81C1/00206 ,  B81C2201/034

Abstract: 제조공정이 간단할 뿐만 아니라, 이종의 계면이 없는 계층구조를 형성할 수 있는 부분경화를 이용한 계층적 미세 구조물의 형성방법이 개시되어 있다. 이를 위하여 부분 경화층을 가지는 제 1 고분자 패턴을 형성하고, 제 1 고분자 패턴 상에 상기 부분 경화층을 이용하여 제 2 고분자 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 부분경화를 이용한 계층적 미세 구조물 형성방법을 제공한다. 본 발명에 의하면, 다양한 계층구조를 가지는 미세 구조물을 간단한 공정을 사용하여 형성할 수 있다. 따라서 다양한 계층구조의 미세 구조물의 형성이 필요한 각종 공정의 효율성과 경제성을 향상시킬 수 있다. 또한, 초소수성을 가질 뿐만 아니라 및 거친 표면에서도 고접착성을 가지는 새로운 기능성 소재를 개발할 수 있다.

Abstract translation: 公开了一种使用部分固化形成不具有异质界面的层状微结构的简化方法。 为了实现上述目的，提供了一种使用部分固化形成层状微结构的方法，其包括以下步骤：形成具有部分固化层的第一聚合物图案; 以及使用所述部分固化层在所述第一聚合物图案上形成第二聚合物图案。 根据本发明，可以简化具有各种分层结构的微结构的形成。 因此，可以提高需要形成具有各种层次结构的微结构的各种工艺的生产率和经济效率。 另外，可以开发出新的功能材料，其不仅具有超疏水性表面，而且即使在粗糙表面上也具有高粘附性。

公开(公告)号：KR1020110091197A

公开(公告)日：2011-08-11

申请号：KR1020100010909

申请日：2010-02-05

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 곽문규 ,  서갑양 ,  정훈의

IPC: C03C23/00 ,  C03B35/00 ,  C09J5/00

CPC classification number: C03B35/145 ,  B65G2249/045 ,  C23C14/042 ,  C23C14/50

Abstract: PURPOSE: Bottom-up type processing method and apparatus with respect to a structure using an adhesion system with microcilia are provided to prevent the sagging phenomenon of a part of the structure by applying uniform supporting force to the entire surface of the structure. CONSTITUTION: An apparatus for bottom-up type processing the structure is composed of a processing unit(140) and an adhesion system(120) with the microcilia(124). The upper side of a structure is bonded using the adhesion system with the microcilia. The bottom side of the structure is upwardly processed. The cross section parts of the microcilia, which are in contact with the structure, are a concave shape. The structure is a glass substrate, a semiconductor substrate, a light emitting diode substrate, or an organic electroluminescent light emitting diode substrate. The microcilia is based on butadiene, epoxy, or silicon.

Abstract translation: 目的：提供关于使用具有微孔粘附系统的结构的自底向上型加工方法和装置，以通过对结构的整个表面施加均匀的支撑力来防止部分结构的下垂现象。 构成：用于自下而上型处理结构的装置由处理单元（140）和具有微孔（124）的粘附系统（120）组成。 结构的上侧使用粘性系统粘贴。 结构的底部向上处理。 与结构接触的微孔的横截面部分是凹形的。 该结构是玻璃基板，半导体基板，发光二极管基板或有机电致发光二极管基板。 微量元素基于丁二烯，环氧树脂或硅。

公开(公告)号：KR101025696B1

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：KR1020090116565

申请日：2009-11-30

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 서갑양 ,  정훈의 ,  곽문규

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/06 ,  B65G47/91 ,  D06C11/00

CPC classification number: H01L21/6838 ,  B25J15/0683 ,  B25J15/0691 ,  B65G47/911 ,  D06C11/00

Abstract: PURPOSE: A fine ciliary structure for a vacuum adhesion, a using method thereof, and a manufacturing method thereof are provided to obtain high reliability by easily controlling the attachment and detachment without remaining particles and product damage. CONSTITUTION: A fine cilium(4) is formed on a substrate(2). A vacuum adhesive unit(5) is formed on the upper side of the fine cilium. The vacuum adhesive unit has a protrusion(6) which is protruded from the fine cilium. The protrusion has a wider contact area than an object. A groove(8) is formed in the protrusion.

Abstract translation: 目的：提供用于真空附着的精细睫状结构，其使用方法及其制造方法，通过容易地控制附着和分离而不残留颗粒和产品损伤来获得高可靠性。 构成：在基材（2）上形成微细的纤维（4）。 真空粘合单元（5）形成在细微纤维的上侧。 真空粘合单元具有从细微纤维突出的突起（6）。 突出部的接触面积比物体宽。 在突起中形成有凹槽（8）。

公开(公告)号：KR100935640B1

公开(公告)日：2010-01-07

申请号：KR1020090034355

申请日：2009-04-20

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 서갑양 ,  정훈의 ,  곽노균

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B29C59/022 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/2012

Abstract: PURPOSE: A method for forming a hierarchical fine structure using partial curing is provided to control a pattern size by forming a hierarchical structure without a heterogeneous interface. CONSTITUTION: A first polymer pattern(26) having a partial curing layer is formed. A second polymer pattern(28) is formed on a first polymer pattern using the partial curing layer. The second polymer pattern with a bridge structure connects a pattern structure formed on the first polymer pattern or adjacent first polymer pattern. The first polymer pattern includes an ultraviolet curable polymer.

Abstract translation: 目的：提供一种使用部分固化形成分级精细结构的方法，通过形成没有异质界面的层次结构来控制图案尺寸。 构成：形成具有部分固化层的第一聚合物图案（26）。 使用部分固化层在第一聚合物图案上形成第二聚合物图案（28）。 具有桥结构的第二聚合物图案连接形成在第一聚合物图案上或相邻的第一聚合物图案上的图案结构。 第一聚合物图案包括紫外线固化聚合物。