公开(公告)号：KR101656480B1

公开(公告)日：2016-09-09

申请号：KR1020140105008

申请日：2014-08-13

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 김창순 ,  차민정

IPC: H01B5/14 ,  H01B13/00 ,  C01B31/02 ,  C01B31/04

Abstract: 그래핀의전사방법에관한것으로, 희생층상에위치하는그래핀을준비하는단계; 상기그래핀상에금속지지층을증착시키는단계; 상기희생층을식각시키는단계; 상기희생층이식각된금속지지층표면에위치하는그래핀을용액에부유시키는단계; 상기용액에부유된그래핀을도장을이용하여스킴(skim)하는단계; 상기금속지지층을제거하는단계; 및상기도장표면에위치하는그래핀을대상기판으로전사시키는단계;를포함하는그래핀의전사방법을제공할수 있다.

公开(公告)号：KR1020160020105A

公开(公告)日：2016-02-23

申请号：KR1020140105008

申请日：2014-08-13

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 김창순 ,  차민정

IPC: H01B5/14 ,  H01B13/00 ,  C01B31/02 ,  C01B31/04

CPC classification number: H01B5/14 ,  C01B32/05 ,  C01B32/20 ,  H01B5/16 ,  H01B7/0009 ,  H01B13/00 ,  H01B13/0003 ,  H01B13/0009

Abstract: 그래핀의전사방법에관한것으로, 희생층상에위치하는그래핀을준비하는단계; 상기그래핀상에금속지지층을증착시키는단계; 상기희생층을식각시키는단계; 상기희생층이식각된금속지지층표면에위치하는그래핀을용액에부유시키는단계; 상기용액에부유된그래핀을도장을이용하여스킴(skim)하는단계; 상기금속지지층을제거하는단계; 및상기도장표면에위치하는그래핀을대상기판으로전사시키는단계;를포함하는그래핀의전사방법을제공할수 있다.

Abstract translation: 提供了一种转移石墨烯的方法，包括：制备位于牺牲层上的石墨烯的步骤; 在所述石墨烯上沉积金属载体层的步骤; 蚀刻牺牲层的步骤; 使用在溶液中蚀刻的牺牲层来悬浮位于金属支撑层表面上的石墨烯的步骤; 使用冲压撇去悬浮在溶液中的石墨烯的步骤; 去除金属支撑层的步骤; 以及将位于涂层表面上的石墨烯转移到目标基板的步骤。