公开(公告)号：KR101592946B1

公开(公告)日：2016-02-11

申请号：KR1020140153007

申请日：2014-11-05

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 안성훈 ,  박성익 ,  타야미노루 ,  김수연

IPC: C03C17/34

CPC classification number: C03C17/34

Abstract: 본발명은기재인 ITO(indium tin oxide) 또는 FTO(fluorinated tin oxide)가적층된투명유리기판이거치되는내부공간을형성한진공챔버; 상기진공챔버에일정정도의진공압을유지시키는진공펌프; 상기투명유리기판에적층된상기기재의표면측으로 WO(tungsten trioxide) 나노분말을공급하는분말공급부; 및상기분말공급부를통하여공급된상기 WO나노분말을상기기재의표면에일정압력으로분사하여일정두께로적층시키는분사노즐을포함하며, 상기 WO나노분말은상온에서분사되는것을특징으로하여, 상온환경하에비교적낮은진공압력으로전기변색물질인 WO나노분말입자를적층시킬수 있음은물론, WO나노분말입자의적층작업등 일체를저렴하고간단한구성으로실시할수 있도록하는전기변색윈도우제작을위한삼산화텅스텐나노입자분말적층장치및 이것의운용방법에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造电致变色窗的三氧化钨纳米颗粒粉末沉积设备; 以及三氧化钨纳米颗粒粉末沉积设备的操作方法，其中所述三氧化钨纳米颗粒粉末沉积设备包括具有内部空间的真空室，所述真空室保持透明玻璃基板，其中氧化铟锡（ITO）或氟化氧化锡（FTO） 这是一种基材沉积; 在真空室中保持恒定水平的真空压力的真空泵; 向沉积在透明玻璃基板上的基材表面供给三氧化钨（WO_3）纳米粉末的粉末供给部分; 以及喷雾喷嘴，以恒定压力将经由粉末供应部件供给的WO_3纳米粉末喷涂在基材的表面上，以将WO_3纳米粉末沉积在基材上，使固定厚度。 WO_3纳米粉末在室温下喷涂。 因此，作为电致变色物质的WO_3纳米粉末可以在室温的较低真空压力下沉积。 此外，WO_3纳米粉末等的所有沉积工艺都可以通过廉价且简单的结构进行。