公开(公告)号：KR101587519B1

公开(公告)日：2016-01-21

申请号：KR1020140007169

申请日：2014-01-21

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 한홍택 ,  이우일 ,  여재익 ,  노정우 ,  이규희 ,  이석환

IPC: B08B3/08 ,  H01L21/302

CPC classification number: Y02C20/30 ,  Y02P70/605

Abstract: 본발명은오염물질제거에관한것으로, 보다상세하게는물을전기분해하여생성된산소와수소의혼합가스를착화하여산수소화염을형성하여연소로오염물질을제거하는것이며다른화염에비하여일산화탄소나이산화탄소가발생되지않고고온의화염온도를얻을수 있어, 표면세정을하게될 때표면이물질의빠른열 분해를유도할수 있으며, 반도체공정에서생성된유해가스를혼합하여용이하게연소로분해처리할수 있는전해산수소화염을이용한오염물질제거방법및 시스템에관한것이다. 이와같은본 발명의특징은전해조내에산수소가스발생용물이담겨지고물에침지된전극에전기를공급하여산소가스와수소가스를발생시키는산수소가스발생단계; 전해조내에포함된산소와수소가가스유량조절기의유량조절로오염물질제거수단으로공급되는산수소가스공급단계; 및오염물질제거수단으로공급된산소와수소의가스가착화되어산수소가스의화염으로오염물질이제거되는산수소가스연소단계를포함하는것을특징으로한다.

公开(公告)号：KR1020150086931A

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：KR1020140007169

申请日：2014-01-21

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 한홍택 ,  이우일 ,  여재익 ,  노정우 ,  이규희 ,  이석환

IPC: B08B3/08 ,  H01L21/302

CPC classification number: Y02C20/30 ,  Y02P70/605 ,  B08B3/08 ,  H01L21/302

Abstract: 본발명은오염물질제거에관한것으로, 보다상세하게는물을전기분해하여생성된산소와수소의혼합가스를착화하여산수소화염을형성하여연소로오염물질을제거하는것이며다른화염에비하여일산화탄소나이산화탄소가발생되지않고고온의화염온도를얻을수 있어, 표면세정을하게될 때표면이물질의빠른열 분해를유도할수 있으며, 반도체공정에서생성된유해가스를혼합하여용이하게연소로분해처리할수 있는전해산수소화염을이용한오염물질제거방법및 시스템에관한것이다. 이와같은본 발명의특징은전해조내에산수소가스발생용물이담겨지고물에침지된전극에전기를공급하여산소가스와수소가스를발생시키는산수소가스발생단계; 전해조내에포함된산소와수소가가스유량조절기의유량조절로오염물질제거수단으로공급되는산수소가스공급단계; 및오염물질제거수단으로공급된산소와수소의가스가착화되어산수소가스의화염으로오염물질이제거되는산수소가스연소단계를포함하는것을특징으로한다.

Abstract translation: 本发明涉及去除污染物，更具体地说，涉及通过点燃通过电解水而产生的氧气和氢气的混合气体来形成氢氧化物燃烧来去除污染物。 更具体地说，本发明涉及一种利用电解氢氧化物除去污染物的环境友好的方法及其系统，其可以通过避免产生一氧化碳或二氧化碳而在表面清洁过程中引起异物在表面上的快速热解 与其他火焰并获得高温火焰，并且可以通过混合由半导体工艺产生的有害气体，通过燃烧容易地进行分解处理。 使用电解氢氧焰消除污染物的环境友好的方法包括：氢氧气产生步骤，通过将水放入用于产生氢氧气的电解槽中并向沉浸在水中的电极供电来产生氧气和氢气; 氢氧气供给步骤，通过用气体流量调节器控制流量，将包含在电解槽中的氧和氢供给到污染物去除装置; 以及氢氧气体燃烧步骤，其点燃供应到污染物去除装置的氧气和氢气，以便使用氢氧气体的火焰除去污染物。