유리 구조물을 구비한 RF MEMS 스위치 및 이의 제작방법
    2.
    发明公开
    유리 구조물을 구비한 RF MEMS 스위치 및 이의 제작방법 无效
    具有玻璃结构的RF MEMS开关及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020150070000A

    公开(公告)日:2015-06-24

    申请号:KR1020140151136

    申请日:2014-11-03

    CPC classification number: H01H59/0009 H01H1/0036 H01H2059/0018 H01P1/127

    Abstract: 본발명의일 실시예에따르면, 미세전자기계시스템(MEMS) 스위치에있어서, 이격된적어도두 개의고정접점(fixed contact)을갖는전송선로패턴이형성된하부기판; 상기하부기판의상부로부터이격되어배치되고상하로가동가능하며, 상기고정접점과대향하도록배치된접촉영역및 이접촉영역의표면에형성되어상기고정접점과소정이격거리를두고서로대향하는가동접점(movable contact)을포함하는액츄에이터; 상기하부기판의상부에접합되고상기액츄에이터와탄성적으로연결되어상기액츄에이터를지지하는지지구조물;을포함하고, 적어도상기가동접점이형성된접촉영역은유리재질로형성된것을특징으로하는 MEMS 스위치가제공된다.

    Abstract translation: 根据本发明的实施例,MEMS开关包括:下基板,其具有至少两个彼此分离的固定触点的传输线; 包括与下基板的上部的上部分离的接触区域的致动器垂直移动并面对固定触点,并且形成在接触区域的表面上的可动触头与 固定接触面,并面对固定接点; 并且结合到下基板的上部的支撑结构弹性地连接到致动器,并且支撑致动器。 形成至少可动触点的接触区域由玻璃制成。

    이중 질량체 구조의 가속도 스위치 및 이의 제조방법
    3.
    发明公开
    이중 질량체 구조의 가속도 스위치 및 이의 제조방법 有权
    双质量结构加速度计开关及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020170106079A

    公开(公告)日:2017-09-20

    申请号:KR1020160029750

    申请日:2016-03-11

    Abstract: 본발명은이중질량체구조의가속도스위치에관한것으로, 가속도스위치에인가된가속도가 0이될 경우, 주질량체에복원력을인가하여고정형접촉스위치로부터주 질량체가이격되도록하는보조질량체를이용해주 질량체와고정형접촉스위치접촉에의한점착(Stiction) 현상을해결할수 있어가속도스위치의신뢰성을향상할수 있도록한 것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及到双质量结构,该加速度在加速度被施加到开关的加速度开关达到零,让使用了在该主要质量施加恢复力上的辅块,使得主质量与固定触点开关的质量和固定远离 可以解决接触开关触点造成的静摩擦现象,从而提高加速度开关的可靠性。

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