公开(公告)号：KR102097055B1

公开(公告)日：2020-04-06

申请号：KR1020180060603

申请日：2018-05-28

Applicant: 서울대학교산학협력단 ,  한국과학기술연구원

Inventor： 이종호 ,  배종호

IPC: H01L29/872 ,  H01L29/861 ,  H01L29/36 ,  H01L29/45 ,  H01L29/06

公开(公告)号：KR102036595B1

公开(公告)日：2019-10-25

申请号：KR1020180064927

申请日：2018-06-05

Applicant: 서울대학교산학협력단 ,  한국과학기술연구원

Inventor： 이종호 ,  배종호 ,  임수환

IPC: H01L29/872 ,  H01L29/36 ,  H01L29/45