公开(公告)号：KR1020180089201A

公开(公告)日：2018-08-08

申请号：KR1020170014025

申请日：2017-01-31

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 채희엽 ,  장해규 ,  고경범 ,  가두현

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/02 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01L22/26 ,  H01J37/32183 ,  H01J37/32935 ,  H01L21/02315 ,  H01L21/3065 ,  H01L22/34

Abstract: 플라즈마공정의식각종료점진단방법이개시된다. 이러한식각종료점진단방법은플라즈마진단장비를이용하여일정한시간간격으로순차적으로측정된 n개의로우데이터들(Raw data)을수집하는단계, 로우데이터들을정규화(normalization)하여 n개의분석대상데이터들을생성하는단계, 유클리드공간에서모든경우의수에따라 n개의분석대상데이터들을 2개의군집(cluster)으로분류하고각 경우에대해분석대상데이터들사이의거리에기초하여군집유효도값들(cluster validity factors)을산출하는단계및 산출된군집유효된값들중 최소값의시간에따른변화를기초로식각종료점을진단하는단계를구비한다.

公开(公告)号：KR101895707B1

公开(公告)日：2018-10-18

申请号：KR1020170014025

申请日：2017-01-31

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 채희엽 ,  장해규 ,  고경범 ,  가두현

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/02 ,  H01J37/32

Abstract: 플라즈마공정의식각종료점진단방법이개시된다. 이러한식각종료점진단방법은플라즈마진단장비를이용하여일정한시간간격으로순차적으로측정된 n개의로우데이터들(Raw data)을수집하는단계, 로우데이터들을정규화(normalization)하여 n개의분석대상데이터들을생성하는단계, 유클리드공간에서모든경우의수에따라 n개의분석대상데이터들을 2개의군집(cluster)으로분류하고각 경우에대해분석대상데이터들사이의거리에기초하여군집유효도값들(cluster validity factors)을산출하는단계및 산출된군집유효된값들중 최소값의시간에따른변화를기초로식각종료점을진단하는단계를구비한다.