公开(公告)号：KR101803147B1

公开(公告)日：2017-11-29

申请号：KR1020150117529

申请日：2015-08-20

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 박성수 ,  세르게이올렉산드로프

IPC: B01L3/00 ,  C08L101/00

Abstract: 본발명은미세유체소자의제조방법에관한것으로서, 보다구체적으로는기판과필름간접합력이증진된미세유체소자의제조방법에관한것이다. 구체적으로, 본발명에따른방법은기판본체의표면에높은전압및 빈도로에어플라스마(air plasma)를처리하는단계를포함하며, 상기단계를통해기판본체의표면에너지를증가시켜필름과의접합력을증진시킬수 있는바, 본발명의방법을통해높은압력이인가되는조건에서도사용할수 있는미세유체소자를대량생산할수 있을것으로기대된다.

公开(公告)号：KR1020170022483A

公开(公告)日：2017-03-02

申请号：KR1020150117529

申请日：2015-08-20

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 박성수 ,  세르게이올렉산드로프

IPC: B01L3/00 ,  C08L101/00

Abstract: 본발명은미세유체소자의제조방법에관한것으로서, 보다구체적으로는기판과필름간접합력이증진된미세유체소자의제조방법에관한것이다. 구체적으로, 본발명에따른방법은기판본체의표면에높은전압및 빈도로에어플라스마(air plasma)를처리하는단계를포함하며, 상기단계를통해기판본체의표면에너지를증가시켜필름과의접합력을증진시킬수 있는바, 본발명의방법을통해높은압력이인가되는조건에서도사용할수 있는미세유체소자를대량생산할수 있을것으로기대된다.