公开(公告)号：KR101931217B1

公开(公告)日：2018-12-20

申请号：KR1020170029984

申请日：2017-03-09

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 안종렬 ,  안성준 ,  김현우

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/324 ,  H01L21/20

Abstract: 기판 상에 다각형 결정 구조를 포함하는 제 1물질층을 형성하는 단계; 상기 제 1물질층을 열처리하여 상기 다각형 결정 구조와 동일한 결정 구조를 포함하는 제 2물질층으로 변환시키는 단계; 및 상기 기판 상에서 상기 다각형 결정구조와 동일한 결정구조를 포함하는 제 3물질층을 성장시키는 단계;를 포함하고, 상기 제 2물질층의 다각형 결정구조와 상기 제 3물질층의 다각형 결정구조가 서로 상이한 방향성을 가지고 엇갈려서 적층된 것인, 2차원 준결정 구조체의 제조방법에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR1020180103278A

公开(公告)日：2018-09-19

申请号：KR1020170029984

申请日：2017-03-09

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 안종렬 ,  안성준 ,  김현우

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/324 ,  H01L21/20

Abstract: 기판상에다각형결정구조를포함하는제 1물질층을형성하는단계; 상기제 1물질층을열처리하여상기다각형결정구조와동일한결정구조를포함하는제 2물질층으로변환시키는단계; 및상기기판상에서상기다각형결정구조와동일한결정구조를포함하는제 3물질층을성장시키는단계;를포함하고, 상기제 2물질층의다각형결정구조와상기제 3물질층의다각형결정구조가서로상이한방향성을가지고엇갈려서적층된것인, 2차원준결정구조체의제조방법에관한것이다.