公开(公告)号：KR102165907B1

公开(公告)日：2020-10-14

申请号：KR1020180155810

申请日：2018-12-06

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 김선국 ,  김정훈 ,  유나 ,  추수호

IPC: B01J35/00 ,  B01J23/28 ,  B01J27/051 ,  B01J37/02 ,  C25B1/04 ,  C04B14/16 ,  C23C16/30

公开(公告)号：KR102155691B1

公开(公告)日：2020-09-14

申请号：KR1020190046860

申请日：2019-04-22

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 김선국 ,  원유찬 ,  유나 ,  발라아린담 ,  스리니바스

IPC: H01L29/06 ,  G06F21/70 ,  H01L21/02 ,  H01L21/311 ,  H01L21/027 ,  H01L21/28 ,  B23K26/20