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公开(公告)号：KR101079427B1
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：KR1020100004583
申请日：2010-01-19
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Inventor： 이명현
IPC: G02B6/12
Abstract: 본발명은제1 금속층과제2 금속층간의이격된공간에유전체층이배치된표면플라즈몬폴라리톤도파로나노집광소자(100)에관한것으로서, 내측및 외측에유전체층이형성된제1 금속층이구비된 IMI형구조를갖는입력단; 상기입력단의제1 금속층이연장형성된제1 금속층, 제1 금속층과이격배치된제2 금속층이구비되고, 제1 금속층의외측, 제2 금속층의외측및 제1 금속층과제2 금속층의내측에유전체층이형성된 IMIMI형구조를갖는중간단; 및상기중간단의제1 금속층이연장형성된제1 금속층, 상기중간단의제2 금속층이연장형성된제2 금속층및 제1 금속층과제2 금속층의내측에유전체층이형성된 MIM형구조를갖는출력단을포함하는것을특징으로한다.본발명에따른표면플라즈몬폴라리톤도파로나노집광소자는입력단으로입력된광신호가광의회절한계를극복하여나노크기의작은모드로변환가능한효과가있다.
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公开(公告)号：KR101073893B1
公开(公告)日：2011-10-17
申请号：KR1020090101649
申请日：2009-10-26
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: G02B6/124
Abstract: 본발명은표면플라즈몬폴라리톤도파로집광소자에관한것으로, 제1 금속층, 제1 금속층상에형성된유전체층및 유전체층상에형성되는제2 금속층을포함하되제1 금속층의길이와제2 금속층의길이가서로다른것을특징으로하는표면플라즈몬폴라리톤집광소자를제공함으로써초소형화, 저전력소비화, 저가의광 집적모듈등의고집적나노플라즈모닉회로의구현이가능하다.
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公开(公告)号：KR1020100083595A
公开(公告)日：2010-07-22
申请号：KR1020090003057
申请日：2009-01-14
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A double metal waveguide device and an integrated circuit using the same are provided to use nano plasmonics as a medium between a nano proton element and a nano electronic element. CONSTITUTION: An input two metal taper(21) focuses optical signals from the optical waveguide. The optical signal is changed into a surface plasmonic polariton signal. A signal sensing & processing unit detects and processes the surface plasmonic polariton signal which is transmitted from a surface plasmonic polariton path. An output double metal taper(23) changes the surface plasma monic polariton signal into an optical signal.
Abstract translation: 目的：提供双金属波导器件和使用其的集成电路，以使用纳米等离子体激元作为纳米质子元件和纳米电子元件之间的介质。 构成：输入两个金属锥（21）聚焦来自光波导的光信号。 光信号变为表面等离子体激元信号。 信号感测处理单元检测并处理从表面等离子体激元路径传输的表面等离子体激元信号。 输出双金属锥（23）将表面等离子体单极偏振光信号变为光信号。
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公开(公告)号：KR1020100023215A
公开(公告)日：2010-03-04
申请号：KR1020080081864
申请日：2008-08-21
Applicant: 성균관대학교산학협력단 , 주식회사 잉크테크 , (주)켐옵틱스
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0015 , G03F7/0002
Abstract: PURPOSE: A method of fabricating a ultra fine pattern using an organometallic solution are provided to form a conductivity ultra fine pattern by using the organometallic solution containing metal adhesion compound. CONSTITUTION: A transfer layer is formed on a substrate(100). The transfer layer is formed with a metal-organic solution. The metal-organic solution contains a metal compound. The metal compound is obtained from reaction between metal or a metal compound or an ammonium compound. The transfer layer is pressurized by a stamp(10). The substrate is heated. The substrate comprises a transfer layer. The stamp comprises an uneven pattern. The conductive pattern is formed on the substrate. The conductive pattern is corresponded to the concave part(10b) of the stamp.
Abstract translation: 目的：提供使用有机金属溶液制造超细图案的方法，以通过使用含有金属粘附化合物的有机金属溶液形成电导率超细图案。 构成：在基板（100）上形成转印层。 转移层由金属有机溶液形成。 金属有机溶液含有金属化合物。 金属化合物由金属或金属化合物或铵化合物之间的反应获得。 转印层通过印模（10）加压。 衬底被加热。 基板包括转印层。 邮票包括不均匀的图案。 导电图案形成在基板上。 导电图案对应于印模的凹部（10b）。
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公开(公告)号：KR101557229B1
公开(公告)日：2015-10-05
申请号：KR1020140058192
申请日：2014-05-15
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: G02B6/12
CPC classification number: G02B6/1226
Abstract: 본발명의실시예들에따른플라즈모닉논리소자는 n 개의소정결합모드의입력표면플라즈몬폴라리톤(SPP) 신호들이각각의입력위치에서여기되는 n 개의금속띠들이간극시작위치에도달하기전에하나의금속띠로합체되는형태로구현되는입력결합플라즈모닉도파로, 소정결합모드의출력 SPP 신호가전파될수 있도록, 간극종료위치부터출력위치까지연장되는금속띠의형태로구현되는출력플라즈모닉도파로, 입력결합플라즈모닉도파로와출력플라즈모닉도파로의각각의금속표면들과접하여금속-유전체경계면들을형성하는유전체층과, 입력결합플라즈모닉도파로와출력플라즈모닉도파로사이에서간극시작위치부터간극종료위치까지형성된간극에대해, TE 모드제어광 신호를입력 SPP 신호들의진행방향과직교하는방향으로입사하는 TE 모드제어광 신호도파관을포함할수 있다. TE 모드제어광 신호는논리연산의종류에따라또는논리연산의종류및 입력 SPP 신호들의논리값들에따라활성화또는비활성화되고, 입력 SPP 신호들의진행방향과평행하는방향으로전기장을형성하도록편광될수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的实施例的等离子体激元逻辑元件包括：在N个金属条之前形成为单个组合金属条形状的输入结合等离子体激元波导，其中N个规定的绑定模式的输入表面等离子体激元（SPP）信号被激发在 输入位置到达起始位置; 输出等离子体激元波导，其形成为从间隙结束位置延伸到输出位置的金属条状，以传播规定的装订模式的输出SPP信号; 与输入的等离子体激元波导的各金属表面和输出等离子体激元波导接触以形成金属 - 电介质边界面的电介质层; 以及TE模式控制光信号波导，其引导TE模式控制光信号，以在与输入等离子体激元波导的传播方向垂直的方向上从间隙开始位置到间隙结束位置进入输入等离子体激元波导和输出等离子体激元波导之间的间隙 输入SPP信号。 可以根据逻辑操作的类型或输入SPP信号的逻辑运算的类型和逻辑值来激活或去激活TE模式控制光信号，并且与传播方向平行地形成电场 的输入SPP信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101296967B1
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：KR1020120060293
申请日：2012-06-05
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: G02B5/045 , B29D11/0073 , G01N21/553 , G01N2201/1056
Abstract: PURPOSE: A prism module for a surface Plasmon resonance (SPR) bio sensor using a spin coating method is provided to prevent the efficiency drop by transition metal adhesion. CONSTITUTION: A fluid first surface treating agent is dropped on one surface of a prism and is spin-coated. A first surface processing thin film layer (10a) is baked and formed on a hot plate. A fluid metal solution is dropped on the first surface processing thin film layer and is spin-coated. A nano metal thin film layer (200) is formed by thermally curing the prism on the hot plate.
Abstract translation: 目的：提供用于表面的棱镜模块使用旋涂法的等离子体共振（SPR）生物传感器，以防止过渡金属附着力的效率下降。 构成：将流体的第一表面处理剂滴在棱镜的一个表面上并旋涂。 第一表面处理薄膜层（10a）被烘焙并形成在热板上。 将流体金属溶液滴在第一表面处理薄膜层上，并进行旋涂。 通过热固化热板上的棱镜来形成纳米金属薄膜层（200）。
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7.发明授权표면 플라즈몬 브래그 격자 도파로를 이용한 바이오센서 소자 및 타겟 물질 검출 방법 有权生物传感器使用BRAGG GRATING WAVEGUIDE FOR SURFACE PLASMON AND DETECTION METHOD OF TARGET MATERIAL WITH THE SAME
公开(公告)号：KR101223762B1
公开(公告)日：2013-01-17
申请号：KR1020100066227
申请日：2010-07-09
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본 발명의 표면 플라즈몬 브래그 격자 도파로를 이용한 바이오센서 소자는 표면 플라즈몬 도파로용으로 형성된 금속층, 금속층 상측에 접촉 배치된 유전체층으로서, 길이 방향 기준 영역 범위에서 유전체층 상측에 형성된 브래그 격자부를 포함하는 상부 유전체층, 금속층 하측에 접촉 배치된 하부 유전체층 및 브래그 격자부 상에 타겟 물질 수용체가 코팅되어 부착된 수용체부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 바이오센서 소자 및 타겟 물질 검출 방법은 SPP가 전송되는 도파로에 브래그 격자를 생성하고, SPP 파장을 측정하여 간단하면서도 효과적으로 타겟 물질을 검출한다.-
公开(公告)号：KR101055469B1
公开(公告)日：2011-08-08
申请号：KR1020090003057
申请日：2009-01-14
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 이중 금속 도파로 소자 및 이를 이용한 나노 플라즈모닉 집적회로에 관한 것으로, 광 도파로로부터 입력받은 광 신호를 집속하고, 이를 표면 플라즈모닉 폴라리톤 신호로 변환하고 이를 적절한 크기로 변환, 입력하는 집속 입력 이중금속테이퍼, 집속된 표면 플라즈몬 플라리톤(SPP) 신호를 전송하기 위한 이중금속도파로, 표면 플라즈모닉 폴라리톤(SPP) 신호를 탈집속하고 광 신호로 변환하여 출력하는 출력 이중금속테이퍼를 포함하는 이중 금속 도파로 소자와 이를 이용한 나노 플라즈모닉 집적 회로 모듈을 제공함으로써 초소형, 저전력, 저비용의 고집적 광자 회로의 구현을 이루었다는 점에서 의의가 있다.
나노 플라즈모닉, 도파로, 테이퍼(Taper), 이중 금속-
公开(公告)号：KR1020110085025A
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：KR1020100004583
申请日：2010-01-19
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Inventor： 이명현
IPC: G02B6/12
Abstract: PURPOSE: A nano focusing device with surface plasmon polariton waveguide and a nano plasmon integrated circuit module using the same are provided to overcome a light diffraction limit of a light signal inputted through an input terminal, thereby converting the inputted light signal into a small mode of nano-size. CONSTITUTION: A dielectric layer is arranged in the separated space between a first metal layer and a second metal layer. An input terminal(100a) with IMI type structure comprises the first metal layer which is formed the dielectric layer in the inner and outer side. A mid-stage(100b) with IMIMI type structure comprises the first metal layer which is extended, and the second metal layer which is separately placed with the first metal layer. The dielectric layer is formed at the mid-stage in the outside of the first metal layer, the outside of the second metal layer, and the inner side of the first metal layer and the second metal layer. An output terminal(100c) with MIM type structure comprises the first metal layer at the mid-stage which is extended, the second metal layer at the mid-stage which is extended, and the dielectric layer in the inner side of the first metal layer and the second metal layer.
Abstract translation: 目的：提供具有表面等离子体极化子波导的纳米聚焦装置和使用其的纳米等离子体激元集成电路模块，以克服通过输入端子输入的光信号的光衍射极限，从而将输入的光信号转换成 纳米尺寸。 构成：介电层布置在第一金属层和第二金属层之间的分离空间中。 具有IMI型结构的输入端子（100a）包括在内侧和外侧形成介电层的第一金属层。 具有IMIMI型结构的中级（100b）包括延伸的第一金属层和与第一金属层分开放置的第二金属层。 介电层形成在第一金属层的外侧，第二金属层的外侧，第一金属层和第二金属层的内侧的中间阶段。 具有MIM型结构的输出端子（100c）包括在中间阶段延伸的第一金属层，延伸的中间的第二金属层，以及在第一金属层的内侧的电介质层 和第二金属层。
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公开(公告)号：KR1020110045201A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：KR1020090101649
申请日：2009-10-26
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: G02B6/124
Abstract: PURPOSE: An SPP(Surface Plasmon Polariton) waveguide focusing device in an MIM(Metal Insulator Metal) structure is provided to implement a high integrated photon circuit by forming a first metal layer and a second metal layer with different lengths. CONSTITUTION: A dielectric layer(53A,53B,53C) is formed on a first metal layer(52A,52B,52C). A second metal layer(51A,51B,51C) is formed on the dielectric layer. The length of the first metal layer is different from the length of the second metal layer. The first or second metal layer is made of precious metal or transition metal.
Abstract translation: 目的：提供MIM（金属绝缘体金属）结构中的SPP（表面等离子体极化）波导聚焦装置，通过形成具有不同长度的第一金属层和第二金属层来实现高集成光子电路。 构成：在第一金属层（52A，52B，52C）上形成电介质层（53A，53B，53C）。 在电介质层上形成第二金属层（51A，51B，51C）。 第一金属层的长度不同于第二金属层的长度。 第一或第二金属层由贵金属或过渡金属制成。
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