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发明授权
쇼트키 장벽 변화 기반 스트레인 센서 有权

公开(公告)号：KR102143909B1

公开(公告)日：2020-08-12

申请号：KR1020180156006

申请日：2018-12-06

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 유우종 , 이일민

IPC: H01L29/84 , H01L41/113 , H01L41/18 , H01L29/16 , H01L29/47 , H01L29/08

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