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发明授权
압저항 방식의 적층형 RLC로 구성된 다기능 유연 센서 및 이의 제조 방법 有权

公开(公告)号：KR102214226B1

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：KR1020190009820

申请日：2019-01-25

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 김선국 , 정의현 , 스리니바스간들라 , 채혁주

IPC: G01L1/18 , G01L1/20

Abstract: 본원은제 1 유연기판상에형성된인덕터및 커패시터; 및상기인덕터및 상기커패시터상에형성된절연층을포함하는제 1 적층체; 및패터닝된미세구조를포함하는제 2 유연기판; 및상기미세구조상에형성된전도성물질을포함하는저항층을포함하는제 2 적층체를포함하고, 상기제 1 적층체의상기인덕터및 상기커패시터와상기제 2 적층체의상기저항층이대향하여배치되고, 상기커패시터및 상기저항층을연결하는제 1 전극, 및상기인덕터및 상기저항층을연결하는제 2 전극을포함하는, 다기능유연센서에관한것이다.

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