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公开(公告)号：KR1020150047002A
公开(公告)日：2015-05-04
申请号：KR1020130126698
申请日：2013-10-23
Applicant: (주)창성 , 성균관대학교산학협력단
IPC: B32B15/08
CPC classification number: B32B15/08 , B32B15/04 , H05K1/0313 , H05K1/0353
Abstract: 본원발명은제 1 기판의일면을표면처리하는단계, 상기표면처리된제 1 기판의일면상에금속박막을형성하는단계, 상기금속박막상에접착성캐리어필름을부착하는단계, 상기접착성캐리어필름에물리적인힘을인가하여상기금속박막(120)을상기제 1 기판(110)으로부터분리하는단계를포함하여금속박막을포함하는캐리어필름을제조하는것이가능할것이다. 또한, 상기표면처리된제 1 기판의일면상에금속박막을형성하는단계, 상기금속박막상에접착성캐리어필름을부착하는단계사이에상기금속박막표면에드라이필름레지스트(Dry Film Resist, DFR)를코팅하는단계, 상기드라이필름레지스트(DFR)를패터닝하는단계, 상기패터닝된드라이필름레지스트(DFR)를이용하여하부의상기금속박막을가공하는단계, 상기드라이필름레지스트(DFR)를제거하는단계를더 포함하는것도가능할것이다. 이를통해젖음성이좋지않은기판에금속박막을형성시킬수 있고, 기판으로부터금속박막을손상없이용이하게분리할수 있다. 또한, 금속박막이부착된캐리어필름은유연한재질이기때문에, 롤투롤공정을사용하여저렴한비용으로기판에금속박막을형성시킬수 있다. 마지막으로드라이필름레지스트(DFR)을패터닝하는방법을이용하여금속박막을패터닝하는것이가능하다.
Abstract translation: 本发明能够制造具有金属薄膜的载体膜的方法，包括：对第一板坯的一个表面进行表面处理的步骤; 在所述第一板的处理表面上形成所述金属薄膜的工序; 将粘合剂载体膜附着在金属薄膜上的步骤; 以及通过对粘合剂载体膜施加物理力而将金属薄板（120）与第一板坯（110）分离的步骤。 此外，本发明使得能够通过附加地包括以下步骤来制造具有金属薄膜的载体膜的方法：在金属薄膜的表面上涂覆干膜抗蚀剂（DFR）的步骤; 图案化DFR的步骤; 使用图案化的DFR处理金属薄膜的步骤; 以及在第一板坯的被处理面上形成金属薄膜的工序和将粘合剂载体膜贴合在金属薄膜上的工序。 因此，本发明能够在具有低润湿性的板坯上形成金属薄膜，并且容易地将金属薄膜与板坯分离而不损坏。 此外，本发明能够通过卷对卷方法以低成本在板坯上形成金属薄膜，因为附着有金属薄膜的载体膜由柔性材料形成。 最后，可以利用用于图案化DFR的方法图案化金属薄膜。
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公开(公告)号：KR102201169B1
公开(公告)日：2021-01-11
申请号：KR1020190132543
申请日：2019-10-23
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H04L27/20 , H04L27/227
Abstract: 본발명의일 실시예에따른메타표면의반사계수를제어하기위한시간부호생성방법은, 제1 시간부호(c1)에대하여중심주파수(fc)를기준으로 +1번째하모닉에대한반사진폭(A1)을계산하는단계; +1번째하모닉에대한반사진폭(A1)이나머지하모닉에대한반사진폭보다 S dB 이상높고문턱값α 이상인지판단하는단계; 상기두 조건을만족하는 +1번째하모닉에대해서는반사계수(a1) 및반사위상(φ1)을상기제1 시간부호(c1)와함께코드북에기록하는단계; 및제1 시간부호외다른시간부호(ck, k≠1)에대하여상기계산하는단계, 판단하는단계및 기록하는단계를순차적으로수행함으로써, 시간부호들의집합(C)을포함하는코드북을생성하는단계;를포함한다.
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公开(公告)号：KR101522534B1
公开(公告)日：2015-05-26
申请号：KR1020130126698
申请日：2013-10-23
Applicant: (주)창성 , 성균관대학교산학협력단
IPC: B32B15/08
Abstract: 본원발명은제 1 기판의일면을표면처리하는단계, 상기표면처리된제 1 기판의일면상에금속박막을형성하는단계, 상기금속박막상에접착성캐리어필름을부착하는단계, 상기접착성캐리어필름에물리적인힘을인가하여상기금속박막(120)을상기제 1 기판(110)으로부터분리하는단계를포함하여금속박막을포함하는캐리어필름을제조하는것이가능할것이다. 또한, 상기표면처리된제 1 기판의일면상에금속박막을형성하는단계, 상기금속박막상에접착성캐리어필름을부착하는단계사이에상기금속박막표면에드라이필름레지스트(Dry Film Resist, DFR)를코팅하는단계, 상기드라이필름레지스트(DFR)를패터닝하는단계, 상기패터닝된드라이필름레지스트(DFR)를이용하여하부의상기금속박막을가공하는단계, 상기드라이필름레지스트(DFR)를제거하는단계를더 포함하는것도가능할것이다. 이를통해젖음성이좋지않은기판에금속박막을형성시킬수 있고, 기판으로부터금속박막을손상없이용이하게분리할수 있다. 또한, 금속박막이부착된캐리어필름은유연한재질이기때문에, 롤투롤공정을사용하여저렴한비용으로기판에금속박막을형성시킬수 있다. 마지막으로드라이필름레지스트(DFR)을패터닝하는방법을이용하여금속박막을패터닝하는것이가능하다.
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