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公开(公告)号:KR102242468B1
公开(公告)日:2021-04-20
申请号:KR1020180165193
申请日:2018-12-19
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Inventor: 조규진 , 바나라즈웨슬리프린스 , 칼레아몰마로트라
IPC: C09D11/037 , C09D11/033 , H01L21/02 , H01L29/66 , H01L29/786
Abstract: 본발명에따른 n-형도핑잉크는용매부틸캐비톨에곁가지가붙은고분자에틸렌이민과, TiO2, ZnO, 및 IGZO 나노입자중 적어도하나를혼합하여제조된다. 또한, 본발명에따른 R2R(Roll-to-Roll) 또는 S2S(Sheet-to-Sheet) 그라비아인쇄방식으로 n-형박막트랜지스터를인쇄하는방법은, 게이트전극을포함한제1 전도성배선을, 실버잉크를사용하여인쇄하는단계, 상기전도성배선상에절연층을인쇄하는단계, 상기절연층상에활성층을인쇄하는단계, 상기활성층상에소스및 드레인전극들을포함한제2 전도성배선을, 실버잉크를사용하여인쇄하는단계, 및상기 n-형도핑잉크를, 점도 5 내지 200 센티포이즈(cP)를가지도록하면서표면장력을 30mN/m 이하로제어하여그라비아인쇄를수행하는단계를포함한다.
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