公开(公告)号：KR101200796B1

公开(公告)日：2012-11-13

申请号：KR1020100106795

申请日：2010-10-29

Applicant: 숭실대학교산학협력단

Inventor： 조정호 ,  이동렬 ,  류두열 ,  박송희 ,  박경민

IPC: H01L29/786 ,  H01L21/336

Abstract: 본 발명은 유전체 표면을 개질하여 고효율의 전계효과 트랜지스터를 제조한는 방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 유전체 표면에 하이드록시로 말단이 기능화된 폴리머 브러쉬를 그래프팅하여 표면을 개질하여, 고성능의 안정한 전계효과 트랜지스터를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 산화 기판 위에 하이드록시기를 갖는 고분자를 스핀 코팅하여 고분자 브러쉬를 형성하는 단계; 고분자 브러쉬가 형성된 기판을 가열 및 세정하는 단계; 및 유기반도체 필름을 상기 기판 위에 스핀 코팅하는 단계를 포함하는 전계효과 트랜지스터 제조방법을 제공한다.

公开(公告)号：KR1020120045328A

公开(公告)日：2012-05-09

申请号：KR1020100106795

申请日：2010-10-29

Applicant: 숭실대학교산학협력단

Inventor： 조정호 ,  이동렬 ,  류두열 ,  박송희 ,  박경민

IPC: H01L29/786 ,  H01L21/336

CPC classification number: H01L51/0003 ,  H01L51/0529 ,  H01L51/0558

Abstract: PURPOSE: A transistor manufacturing method for a stable solution process which has high efficiency is provided to improve performance of a field effect transistor by easily reforming a dielectric surface using polymers. CONSTITUTION: A polymer brush is formed by spin-coating a polymer which has a hydroxyl group on an oxide substrate. The substrate in which the polymer brush is formed is heated and washed. An organic semiconductor film is spin-coated on the substrate. The polymer brush is comprised of the polymer which has the hydroxyl group.

Abstract translation: 目的：提供高效率的稳定溶液工艺的晶体管制造方法，通过使用聚合物容易地重整电介质表面来提高场效应晶体管的性能。 构成：通过旋涂在氧化物基底上具有羟基的聚合物形成聚合物刷。 将形成有聚合物刷的基材加热洗涤。 将有机半导体膜旋涂在基板上。 聚合物刷由具有羟基的聚合物组成。