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公开(公告)号:KR102019563B1
公开(公告)日:2019-09-06
申请号:KR1020170157878
申请日:2017-11-24
Applicant: 숭실대학교산학협력단
Inventor: 박경원 , 손정인 , 이주원 , 박상연 , 이영우 , 곽다희
IPC: C23C16/30 , C23C16/46 , H01L21/285 , H01L21/02