세정방법및세정조성물
    2.
    发明公开
    세정방법및세정조성물 失效
    清洁方法和清洁组合物

    公开(公告)号:KR1020000064431A

    公开(公告)日:2000-11-06

    申请号:KR1019980704556

    申请日:1996-05-17

    Abstract: 본발명은카테나헤테로원자를추가로함유할수 있으며모노알콕시, 디알콕시또는트리알콕시치환된, 퍼플루오로알칸, 퍼플루오로시클로알칸, 퍼플루오로시클로알킬함유퍼플루오로알칸, 또는퍼플루오로시클로알킬렌함유퍼플루오로알칸화합물을 1종이상함유하는세정조성물과기재를접촉시키는것을포함하여기재표면으로부터오염물을제거하는방법에관한것이다. 이화합물은우수한용해성을나타낼뿐만아니라환경적으로도바람직하다.

    Abstract translation: 本发明可以进一步包含一个类别或一个杂原子和一个单烷氧基,二烷氧基或三烷氧基 - 取代的,全氟烷烃,全氟环烷烃,全氟代环烷基含有全氟烷烃或全氟到 环烷基,以用于从基板表面去除污染物的方法,并且包括一个与基板,其是含有至少一种全氟化合物烷烃清洁组合物接触含烯化。 该化合物不仅表现出优异的溶解性,而且还具有环境优势

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