公开(公告)号：KR101001477B1

公开(公告)日：2010-12-14

申请号：KR1020090028661

申请日：2009-04-02

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 양상식 ,  김강일 ,  김근영

IPC: H05H1/24

CPC classification number: H05H1/2406 ,  H01J37/32541 ,  H05H2001/2412 ,  H05H2240/10 ,  H05H2240/20 ,  H05H2245/122 ,  H05H2277/10

Abstract: 바이오-메디컬 응용을 위한 상압 저온 마이크로 플라즈마 분사 장치가 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 분사 장치는 양극으로 사용되는 전극, 음극으로 사용되는 기체주입관, 다공성 절연재, 보호관, 및 절연 케이스를 포함한다. 상기 전극에서는 플라즈마가 분사된다. 기체주입관은 외부로부터 기체를 주입한다. 다공성 절연재는 상기 전극과 상기 기체주입관 사이에서 상기 전극과 상기 기체주입관을 절연시키며, 상기 기체주입관으로부터 주입된 기체를 상기 전극으로 통과시키기 위한 복수의 통과 구멍들을 갖는다. 보호관은 상기 기체주입관을 외부로부터 절연시키고 보호하기 위해 상기 기체주입관을 둘러싼다. 절연 케이스는 상기 전극, 상기 다공성 절연재, 및 상기 기체주입관 중 상기 다공성 절연재와 연결되는 부분을 둘러싸며, 상기 전극과 상기 기체주입관 사이에서 상기 플라즈마를 발생시키기 위해 일어나는 방전이 외부로 확산되는 것을 차단한다. 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 분사 장치는 MEMS와 같은 마이크로머시닝 공정을 이용하여 플라즈마가 분사되는 전극의 미세 전극들의 직경을 수십 마이크로미터 이하로 제작함으로써 상압에서 낮은 전압으로도 저온이며 전류밀도가 높은 플라즈마를 생성시켜 분사할 수 있으며, 이에 따라 바이오-메디컬 분야, 특히 세포사멸을 이용한 바이오 메디컬 분야에 응용될 수 있는 장점이 있다.

公开(公告)号：KR1020100098256A

公开(公告)日：2010-09-06

申请号：KR1020090028661

申请日：2009-04-02

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 양상식 ,  김강일 ,  김근영

IPC: H05H1/24

CPC classification number: H05H1/2406 ,  H01J37/32541 ,  H05H2001/2412 ,  H05H2240/10 ,  H05H2240/20 ,  H05H2245/122 ,  H05H2277/10

Abstract: PURPOSE: An atmospheric low temperature micro plasma spraying device is provided to manufacture the diameter of fine electrodes of an electrode which sprays plasma by using a micro-machining process like a MEMS(Micro Electro Mechanical system). CONSTITUTION: An electrode(1) spraying plasma is used as an anode. Gas is inserted from the outside to a gas injection tube(5). The gas injection tube is used as a cathode. A porosity insulating material insulates the electrode and the gas injection tube between the electrode and the gas injection tube. The porosity insulating material has a plurality of through-holes passing through the inserted gas from the gas injection tube to the electrode. A protecting duct(4) insulates the gas injection tube from the outside. An insulation case(3) surrounds a part which is connected to the porosity insulating material among the electrode, the porosity insulating material, and the gas injection tube. The insulation case secludes the external diffusion of the discharge which generates the plasma between the electrode and the gas injection tube.

Abstract translation: 目的：提供一种大气低温微等离子体喷涂装置，用于通过使用微机械加工工艺（Micro Electro Mechanical System）来制造喷射等离子体的电极的直径。 构成：使用喷射等离子体的电极（1）作为阳极。 气体从外部插入气体注入管（5）。 气体注入管用作阴极。 孔隙绝缘材料使电极和气体注入管在电极和气体注入管之间绝缘。 孔隙率绝缘材料具有多个通过从气体注入管插入的气体到电极的通孔。 保护管道（4）将气体注入管与外部绝缘。 绝缘壳体（3）围绕连接到电极，孔隙率绝缘材料和气体注入管中的孔隙绝缘材料的部分。 绝缘壳体分离出在电极和气体注入管之间产生等离子体的放电的外部扩散。