公开(公告)号：KR101557575B1

公开(公告)日：2015-10-05

申请号：KR1020140031259

申请日：2014-03-17

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 서형탁 ,  최덕균 ,  김명호 ,  박진형 ,  정승기 ,  이영안

IPC: H01L21/316 ,  H01L21/26

Abstract: 투명금속산화물전도체의제조방법이개시된다. 투명금속산화물전도체를제조하기위하여금속산화물박막을형성한후 대기중에서금속산화물박막에자외선을조사할수 있다. 이와같은방법으로제조된투명금속산화물전도체는높은가시광투과도를가질뿐만아니라낮은면저항을갖는다.

公开(公告)号：KR1020150108260A

公开(公告)日：2015-09-25

申请号：KR1020140031259

申请日：2014-03-17

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 서형탁 ,  최덕균 ,  김명호 ,  박진형 ,  정승기 ,  이영안

IPC: H01L21/316 ,  H01L21/26

Abstract: 투명 금속산화물 전도체의 제조방법이 개시된다. 투명 금속산화물 전도체를 제조하기 위하여 금속산화물 박막을 형성한 후 대기 중에서 금속산화물 박막에 자외선을 조사할 수 있다. 이와 같은 방법으로 제조된 투명 금속산화물 전도체는 높은 가시광 투과도를 가질 뿐만 아니라 낮은 면저항을 갖는다.

Abstract translation: 公开了一种制造透明导电金属氧化物的方法。 为了制造透明导电金属氧化物，可以形成金属氧化物薄膜，并在大气中用紫外线照射金属氧化物薄膜。 通过该方法制造的透明导电金属氧化物具有高的可见光透射率和低的薄层电阻。