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公开(公告)号：KR20210032037A
公开(公告)日：2021-03-24
申请号：KR1020190113240A
申请日：2019-09-16
Applicant: 아주대학교산학협력단
IPC: C01G23/00
CPC classification number: C01G23/006
Abstract: 본 발명의 SrTiO
3 의 합성 방법 및 이를 이용하는 습도 센서는 SrTiO
3 을 사전-핵형성(prenucleation) 하는 단계; 및 상기 사전-핵형성된 SrTiO
3 을 레이저 어닐링하는 단계;를 포함한다.
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