마이크로 플라즈마 분사 소자, 적층형 마이크로 플라즈마 분사 모듈 및 마이크로 플라즈마 분사 소자의 제작 방법
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    发明申请
    마이크로 플라즈마 분사 소자, 적층형 마이크로 플라즈마 분사 모듈 및 마이크로 플라즈마 분사 소자의 제작 방법 审中-公开
    MICROPLASMA喷雾元件,层压微孔喷雾模块和制造微孔喷雾元件的方法

    公开(公告)号:WO2015050376A1

    公开(公告)日:2015-04-09

    申请号:PCT/KR2014/009260

    申请日:2014-10-01

    CPC classification number: H05H1/2406 H05H2001/2412 H05H2001/2437

    Abstract: 본 발명에 따른 마이크로 플라즈마 분사 소자는, 플라즈마 발생용 기체가 통과할 수 있도록 병렬로 배열된 다수의 미세유로채널이 형성된 채널층; 상기 채널층의 일면에 접합되며 제1 플라즈마 발생용 전극이 형성된 제1 절연층; 및 상기 채널층의 타면에 접합되며 제2 플라즈마 발생용 전극이 형성된 제2 절연층을 포함하는 것을 특징으로 한다.

    Abstract translation: 根据本发明的微血浆喷雾元件包括:通道层,其具有平行布置的多个微流通道,以使能产生等离子体的气体通过; 连接到所述沟道层的一个表面并具有第一等离子体产生电极的第一绝缘层; 以及与所述沟道层的另一表面接合并具有第二等离子体产生电极的第二绝缘层。

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