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1.마이크로 플라즈마 분사 소자, 적층형 마이크로 플라즈마 분사 모듈 및 마이크로 플라즈마 분사 소자의 제작 방법 审中-公开
Title translation: MICROPLASMA喷雾元件,层压微孔喷雾模块和制造微孔喷雾元件的方法公开(公告)号:WO2015050376A1
公开(公告)日:2015-04-09
申请号:PCT/KR2014/009260
申请日:2014-10-01
Applicant: 아주대학교산학협력단
IPC: H05H1/34
CPC classification number: H05H1/2406 , H05H2001/2412 , H05H2001/2437
Abstract: 본 발명에 따른 마이크로 플라즈마 분사 소자는, 플라즈마 발생용 기체가 통과할 수 있도록 병렬로 배열된 다수의 미세유로채널이 형성된 채널층; 상기 채널층의 일면에 접합되며 제1 플라즈마 발생용 전극이 형성된 제1 절연층; 및 상기 채널층의 타면에 접합되며 제2 플라즈마 발생용 전극이 형성된 제2 절연층을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 根据本发明的微血浆喷雾元件包括:通道层,其具有平行布置的多个微流通道,以使能产生等离子体的气体通过; 连接到所述沟道层的一个表面并具有第一等离子体产生电极的第一绝缘层; 以及与所述沟道层的另一表面接合并具有第二等离子体产生电极的第二绝缘层。
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2.마이크로 플라즈마 분사 소자, 적층형 마이크로 플라즈마 분사 모듈 및 마이크로 플라즈마 분사 소자의 제작 방법 有权
Title translation: 微型等离子体喷射装置,层叠型微型等离子体射流组件及其制造方法公开(公告)号:KR1020150039678A
公开(公告)日:2015-04-13
申请号:KR1020140122736
申请日:2014-09-16
Applicant: 아주대학교산학협력단
IPC: H05H1/34
CPC classification number: H05H1/24 , H01J37/32467 , H01J37/32532 , H05H1/2406 , H05H2001/2412 , H05H2001/2437
Abstract: 본발명에따른마이크로플라즈마분사소자는, 플라즈마발생용기체가통과할수 있도록병렬로배열된다수의미세유로채널이형성된채널층; 상기채널층의일면에접합되며제1 플라즈마발생용전극이형성된제1 절연층; 및상기채널층의타면에접합되며제2 플라즈마발생용전극이형성된제2 절연층을포함하는것을특징으로한다.
Abstract translation: 根据本发明的微等离子体喷射装置包括:平行布置的多个微流道,以允许产生等离子体的气体通过; 第一绝缘层,其接触沟道层的一侧并具有用于产生第一等离子体的电极; 以及与沟道层的另一侧接触并具有第二绝缘层的第二绝缘层,该第二绝缘层具有用于产生第二等离子体的电极。
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3.마이크로 플라즈마 분사 소자, 적층형 마이크로 플라즈마 분사 모듈 및 마이크로 플라즈마 분사 소자의 제작 방법 有权
Title translation: 微等离子体喷射装置层叠型微型等离子体射流组件及其制造方法公开(公告)号:KR101594464B1
公开(公告)日:2016-02-18
申请号:KR1020140122736
申请日:2014-09-16
Applicant: 아주대학교산학협력단
IPC: H05H1/34
CPC classification number: H05H1/24 , H01J37/32467 , H01J37/32532 , H05H1/2406 , H05H2001/2412 , H05H2001/2437
Abstract: 본발명에따른마이크로플라즈마분사소자는, 플라즈마발생용기체가통과할수 있도록병렬로배열된다수의미세유로채널이형성된채널층; 상기채널층의일면에접합되며제1 플라즈마발생용전극이형성된제1 절연층; 및상기채널층의타면에접합되며제2 플라즈마발생용전극이형성된제2 절연층을포함하는것을특징으로한다.
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