패터닝 형성용 탄소나노튜브-고분자 복합체 및 이를 이용하여 기판에 패터닝을 형성하는 방법
    1.
    发明授权
    패터닝 형성용 탄소나노튜브-고분자 복합체 및 이를 이용하여 기판에 패터닝을 형성하는 방법 有权
    用于形成图案的碳纳米管聚合物复合材料和使用复合材料形成图案的方法

    公开(公告)号:KR101267218B1

    公开(公告)日:2013-05-23

    申请号:KR1020090116493

    申请日:2009-11-30

    Abstract: 본발명에의하여수용액상의탄소노나노튜브분산용액, 계면활성제및 폴리에틸렌이민을포함하는탄소나노튜브-고분자복합체가개시되며, 탄소나노튜브를기판에패터닝하기위한준비단계로써폴리에틸렌아민을사용하여탄소나노튜브-고분자복합체용액을준비하는단계; 상기탄소나노튜브-고분자복합체용액을 AFM 탐침표면에물리적흡착을유도하는단계; 상기탄소나노튜브-고분자복합체용액이함침된 AFM 탐침을기판상에서이동시키며탄소나노튜브-고분자복합체를전사하는단계; 상기전사된탄소나노튜브-고분자복합체에서고분자부분을화학적처리를통해제거하는단계; 및소자를형성하여전도성을확인하는단계를포함하는탄소나노튜브의패터닝방법이개시된다.

    패터닝 형성용 탄소나노튜브-고분자 복합체 및 이를 이용하여 기판에 패터닝을 형성하는 방법
    2.
    发明公开
    패터닝 형성용 탄소나노튜브-고분자 복합체 및 이를 이용하여 기판에 패터닝을 형성하는 방법 有权
    用于形成图案的碳纳米管聚合物复合材料和使用复合材料形成图案的方法

    公开(公告)号:KR1020110060028A

    公开(公告)日:2011-06-08

    申请号:KR1020090116493

    申请日:2009-11-30

    CPC classification number: C01B32/16 B82Y40/00 C01P2004/64 C08L79/08

    Abstract: PURPOSE: A carbon nanotube-polymer composite for patterning, and a patterning method using thereof are provided to directly pattern a carbon nanotube using the dip-pen nanolithography. CONSTITUTION: A carbon nanotube-polymer composite for patterning contains a carbon nanotube dispersion solution in a liquid phase, a surfactant, and a polymer solution with the viscosity. A patterning method for directly patterning the carbon nanotube to a substrate comprises the following steps: preparing a carbon nanotube-polymer composite solution; inducing the physical adsorption of the carbon nanotube-polymer composite solution to the surface of an AFM probe; transferring the carbon nanotube-polymer composite by moving the AFM probe on the substrate; and removing polymer from the carbon nanotube-polymer composite.

    Abstract translation: 目的:提供用于图案化的碳纳米管 - 聚合物复合材料及其使用的图案化方法,以使用浸笔纳米光刻直接对碳纳米管进行图案化。 构成:用于图案化的碳纳米管 - 聚合物复合材料包含液相中的碳纳米管分散液,表面活性剂和具有粘度的聚合物溶液。 将碳纳米管直接图案化为基板的图案化方法包括以下步骤:制备碳纳米管 - 聚合物复合溶液; 诱导碳纳米管 - 聚合物复合溶液物理吸附到AFM探针的表面; 通过在基板上移动AFM探针来转移碳纳米管 - 聚合物复合材料; 并从碳纳米管 - 聚合物复合物中除去聚合物。

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