公开(公告)号：KR102234831B1

公开(公告)日：2021-04-01

申请号：KR1020190079930A

申请日：2019-07-03

Applicant: 아즈빌주식회사

Inventor： 히로후미 도조 ,  도모히사 도쿠다 ,  노조미 기다

IPC: G01L9/00 ,  G01L7/08 ,  G01L19/06

CPC classification number: G01L9/0054 ,  G01L19/06 ,  G01L7/08

Abstract: 본 발명은, 출력치의 히스테리시스가 작아짐과 더불어 표면을 보호막으로 확실히 덮어 보호하는 것이 가능한 고감도의 압력 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.
감압부(11)를 갖는 다이어프램(3)을 구비한다. 감압부(11)는, 하면(11a)(표면과 이면 중 한쪽 면)에 오목부(13)가 형성됨으로써 두께가 두꺼운 영역(B)과 얇은 영역으로 나누어져 있다. 감압부(11)의 두께가 두꺼운 영역(B)으로서, 오목부(13)가 형성되어 있지 않은 상면(11b)에 피에조 저항 소자를 포함하는 센서 게이지(21)가 설치되어 있다.