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公开(公告)号：KR1020130040770A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：KR1020127021369
申请日：2011-01-25
Applicant: 에드워즈 리미티드
CPC classification number: F04B49/20 , F04B37/14 , F04B49/08 , F04B2201/1201 , F04B2207/02 , F04B49/06 , F05B2210/12 , Y10S415/00 , Y10S417/00
Abstract: 자동화 방법을 이용하여 최적 또는 소망의 속도로 펌프 속도를 조정하기 위한 장치가 개시된다. 장치는 챔버로부터 가스를 배출하기 위해 상기 챔버에 연결되는 진공 펌프를 포함한다. 센서는 상기 챔버 내 상기 가스의 압력과 같은 하나 이상의 특성을 측정한다. 측정된 특성은, 지정된 값과 비교된다. 진공 펌프의 속도는 소망의 범위 내에 들어올 때까지 상기 비교에 기초하여 조정된다.
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