公开(公告)号：KR1020150053918A

公开(公告)日：2015-05-19

申请号：KR1020157006130

申请日：2013-09-04

Applicant: 에이치.이.에프.

Inventor： 슈미트,비트 ,  에오,크리스토프 ,  모랭-페리에,필리프

IPC: H05H1/46 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32009 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32678 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/463

Abstract: 처리챔버내로마이크로파를전달하기위해중앙도체(1) 및외부도체(2)로각각형성된두 개이상의동축도파관(4)을포함하는플라즈마생성장치는, 두개 이상의전자파주입가이드(4)가일방향으로길게연장된자기회로(21, 22)와결합되며, 상기자기회로는상기도파관들에가까운 ECR 조건을달성할수 있는자기장을생성시키는것에의해상기도파관(4)들을둘러싼다.

公开(公告)号：KR102107510B1

公开(公告)日：2020-05-07

申请号：KR1020157006130

申请日：2013-09-04

Applicant: 에이치.이.에프.

Inventor： 슈미트,비트 ,  에오,크리스토프 ,  모랭-페리에,필리프

IPC: H05H1/46 ,  H01J37/32