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公开(公告)号：KR1020130036380A
公开(公告)日：2013-04-11
申请号：KR1020137007190
申请日：2006-11-20
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
CPC classification number: F04B49/065 , F04B13/00 , F04B17/03 , F04B43/0081 , F04B43/02 , F04B2201/0201 , F04B2201/1208
Abstract: 본원에 개시된 시스템 및 방법의 실시예는, 유체의 운동과 토출량에 대하여 실시간 제어와, 원만한 동작의 제어, 그리고 매우 정확하고 반복적인 위치 제어를 행하기 위한, 반도체 제조에 유용한 펌핑 시스템에서, BLDCM을 이용하여 단단 펌프 혹은 다단 펌프를 구동한다. BLDCM은 맞춤 필드 지향 제어 방식을 실행하는 프로세서에 실시간으로 위치를 피드백하는 위치 센서를 채용할 수 있다. 본 발명의 실시예는 맞춤 제어 방식을 통하여 기본 기능(들)의 임계성에 따라 BLDCM의 작동 주파수를 높이고 낮춤으로써, 토출 펌프의 정확한 위치 제어를 바람직하지 못하게 양보하는 일 없이 열 발생을 줄일 수 있다. 상기 제어 방식은 BLDCM을 매우 낮은 속도로 구동시키면서 일정한 속도를 유지할 수 있으며, 이로써 펌핑 시스템은 진동을 최소화하고 토출 성능과 작업 능력을 실질적으로 증대시키면서 넓은 속도 범위로 작동할 수 있게 된다.
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公开(公告)号：KR101283259B1
公开(公告)日：2013-07-11
申请号：KR1020137007190
申请日：2006-11-20
Applicant: 엔테그리스, 아이엔씨.
CPC classification number: F04B49/065 , F04B13/00 , F04B17/03 , F04B43/0081 , F04B43/02 , F04B2201/0201 , F04B2201/1208
Abstract: 본원에 개시된 시스템 및 방법의 실시예는, 유체의 운동과 토출량에 대하여 실시간 제어와, 원만한 동작의 제어, 그리고 매우 정확하고 반복적인 위치 제어를 행하기 위한, 반도체 제조에 유용한 펌핑 시스템에서, BLDCM을 이용하여 단단 펌프 혹은 다단 펌프를 구동한다. BLDCM은 맞춤 필드 지향 제어 방식을 실행하는 프로세서에 실시간으로 위치를 피드백하는 위치 센서를 채용할 수 있다. 본 발명의 실시예는 맞춤 제어 방식을 통하여 기본 기능(들)의 임계성에 따라 BLDCM의 작동 주파수를 높이고 낮춤으로써, 토출 펌프의 정확한 위치 제어를 바람직하지 못하게 양보하는 일 없이 열 발생을 줄일 수 있다. 상기 제어 방식은 BLDCM을 매우 낮은 속도로 구동시키면서 일정한 속도를 유지할 수 있으며, 이로써 펌핑 시스템은 진동을 최소화하고 토출 성능과 작업 능력을 실질적으로 증대시키면서 넓은 속도 범위로 작동할 수 있게 된다.
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