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1.테라헤르츠를 이용한 가스 감지 방법, 가스 센서, 가스 센서의 제조 방법 및 가스 감지 시스템 有权
Title translation: 气体检测方法和气体传感器USINNG TERAHERTZ,制造气体传感器和气体检测系统的方法公开(公告)号:KR101510228B1
公开(公告)日:2015-04-10
申请号:KR1020140104368
申请日:2014-08-12
Applicant: 연세대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은기판상의적어도일부분에가스반응물질이형성된가스센서에테라헤르츠펄스를인가하는단계및 상기가스센서를투과한테라헤르츠펄스를검출하는단계를포함하는가스감지방법에관한것이다.
Abstract translation: 气体检测方法技术领域本发明涉及气体检测方法。 气体检测方法包括:将太赫兹脉冲施加到其基板上的至少一部分中形成气体反应材料的气体传感器的步骤; 以及检测穿过气体传感器的太赫兹脉冲的步骤。