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发明申请
인장 변형을 이용한 광 검출기 제조 방법, 이에 의해 제조되는 광 검출기, 및 그 제조 장치 审中-公开

公开(公告)号：WO2022131470A1

公开(公告)日：2022-06-23

申请号：PCT/KR2021/009500

申请日：2021-07-22

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 안종현 , 카티야르아지트쿠마르 , 타이킨유

IPC: G01J5/20 , G01J3/10

Abstract: 인장 변형을 이용한 광 검출기 제조 방법, 이에 의해 제조되는 광 검출기, 및 그 제조 장치가 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 광 검출기 제조 방법은: 광 검출을 위한 활성 물질로 이루어지는 나노 멤브레인 어레이 패턴을 구비하는 연신성 박막을 준비하는 단계; 및 상기 연신성 박막에 인장 변형을 인가하여 광 검출 어레이 센서를 제조하는 단계를 포함한다.

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