인장 시험편 및 이의 제조 방법
    2.
    发明公开
    인장 시험편 및 이의 제조 방법 审中-实审
    拉伸试样及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020170032542A

    公开(公告)日:2017-03-23

    申请号:KR1020150129963

    申请日:2015-09-14

    CPC classification number: G01N3/08 G01N3/06 G01N3/62 G01N2203/0298

    Abstract: 본발명의일 실시예에따른인장시험편제조방법은, 비전도성물질을포함하는폴리머층을준비하는폴리머층준비단계와, 상기폴리머층상에희생층을형성하는희생층형성단계와, 상기희생층상에평탄화막을형성하는평탄화막형성단계와, 상기폴리머층, 희생층, 및평탄화막을개 뼈(dog-bone) 형상의샘플로형성하는샘플형상형성단계와, 상기샘플을선택적으로에칭하는에칭단계, 및상기에칭된샘플을건조하는건조단계를포함한다.

    Abstract translation: 在根据本发明的一个实施方案中,制备聚合物层,其包括由非导电材料的聚合物层制备步骤,和所述牺牲层形成在聚合物层上形成牺牲层的步骤,所述牺牲层拉伸试验方法 和平坦化膜形成工序,在平坦化膜,所述聚合物层,所述牺牲层的步骤,和平坦化膜狗骨(狗骨)蚀刻步骤中提到的样品的形状在形成所述形状和所述样本的样本,以选择性的步骤,和 然后干燥蚀刻的样品。

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