公开(公告)号：WO2016153155A1

公开(公告)日：2016-09-29

申请号：PCT/KR2015/014384

申请日：2015-12-29

Applicant: 울산과학기술원

Inventor： 고현협 ,  하민정

IPC: G01L1/00 ,  G01L1/20 ,  G01L1/16 ,  B81C1/00 ,  B82B1/00

CPC classification number: B81C1/00 ,  B82B1/00 ,  G01L1/00 ,  G01L1/16 ,  G01L1/20

Abstract: 본 발명에 따른 생체모사 기반 압력센서 제조방법은 (a) 실리콘 마이크로홀 패턴으로부터 한 쌍의 PDMS 기판에 각각에 복수의 마이크로필러를 형성시키는 단계; (b) 한 쌍의 상기 PDMS 기판에 형성된 복수의 마이크로필러에 나노와이어를 성장시키는 단계; (c) 한 쌍의 상기 PDMS 기판 중, 어느 하나의 PDMS 기판은 상기 나노와이어가 성장된 상기 마이크로필러에 부분적으로 금속필름을 코팅하는 단계; 및 (d) 한 쌍의 상기 PDMS 기판 중, 상기 나노와이어가 성장된 PDMS 기판과 상기 (c)단계에서 부분적으로 금속필름이 코팅된 PDMS 기판을 맞물리는 단계;를 포함하여, 표면적을 극대화하며 효과적인 압력전달이 가능해 압력센서로서의 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. (대표도) 도 1

Abstract translation: 根据本发明的仿生型压力传感器制造方法包括：（a）从硅微孔图案在一对PDMS衬底中的每一个上形成多个微柱的步骤; （b）在形成在所述一对PDMS衬底上的多个微透镜中生长纳米线的步骤; （c）用金属膜部分地涂覆其中纳米线在微透镜中生长的一对PDMS衬底中的任一个的步骤; 和（d）在步骤（c）中，使一对PDMS衬底中的纳米线已经生长的PDMS衬底与已经被金属膜部分涂覆的PDMS衬底接合的步骤。 该方法通过最大化表面积和有效的压力传递来有效地提高作为压力传感器的性能。

公开(公告)号：KR101958807B1

公开(公告)日：2019-03-15

申请号：KR1020170158747

申请日：2017-11-24

Applicant: 울산과학기술원

Inventor： 고현협 ,  하민정 ,  임성동 ,  이영오 ,  나상윤

IPC: H02N1/04 ,  C08L27/16 ,  C08L83/08