公开(公告)号：KR101972540B1

公开(公告)日：2019-04-25

申请号：KR1020170122446

申请日：2017-09-22

Applicant: 울산과학기술원 ,  서울대학교산학협력단

Inventor： 김주영 ,  송은지 ,  강나리 ,  곽은지 ,  전한솔 ,  권동일

IPC: C22F1/14 ,  C22B11/00 ,  C22B5/02

公开(公告)号：KR1020160018059A

公开(公告)日：2016-02-17

申请号：KR1020140101986

申请日：2014-08-07

Applicant: 울산과학기술원

Inventor： 김주영 ,  김영천 ,  곽은지 ,  강나리

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/14 ,  C23C14/58 ,  C23F1/02

CPC classification number: C23C14/3464 ,  C23C14/025 ,  C23C14/5806 ,  C23C14/5873 ,  C23F1/02 ,  C23F1/30

Abstract: 본발명은다공성특성의조절이용이한다공성금 박막제조방법을제공하는것을그 목적으로한다. 상기의목적을달성하기위하여본 발명은, 금박막에다공성구조를형성하는다공성금 박막제조방법에있어서, 기판상단에접합층을형성하는접합층형성단계; 상기접합층상단에금은합금의박막을형성하는박막형성단계; 상기단계에서형성된금은합금박막의균질화를위하여풀림처리하는균질화단계; 상기금은합금박막을포함하는기판을질산수용액에투입하여은성분을부식시켜다공성다공성구조를상기박막에형성하는다공성구조형성단계; 및상기박막을질산수용액에서취출하는분리취출단계;를포함하는것을특징으로한다.

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种容易控制多孔性能的多孔金属薄膜制造方法。 为了实现这一点，本发明在金属薄膜中形成多孔结构的多孔金属薄膜制造方法中包括：在基板的顶部上形成接合层的接合层形成步骤; 在接合层的顶部形成金 - 银合金薄膜的薄膜形成步骤; 均质化步骤，通过先前均匀化金 - 银合金薄膜步骤形成的金 - 银合金薄膜退火; 通过将包含金 - 银合金薄膜的基板输入硝酸水溶液并蚀刻银组分，在薄膜上形成多孔结构的多孔结构形成步骤; 以及从硝酸水溶液中分离和取出薄膜的分离取出工序。