후막 레지스터 소자의 제조 방법
    1.
    发明公开
    후막 레지스터 소자의 제조 방법 无效
    厚膜电阻元件的制造方法

    公开(公告)号:KR1019970002460A

    公开(公告)日:1997-01-24

    申请号:KR1019950016367

    申请日:1995-06-20

    Abstract: 본 발명은 기판 표면상에 균일한 두께의 후막 레지스터를 고정밀도로 형성하는 후막 레지스터 소자의 제조 방법에 관한 것이다.
    본 발명은 전도성 성분과 무기 결합체를 유기 매질 중에 분산시킴으로써 얻어진 특정 유동학적 특성을 갖는 후막 레지스터 조성물을, 레지스트 패턴에 따라 절연 기판상에 형성된 광중합성 혼합물의 레지스트층을 노출시키고, 경화 및 현상함으로써 얻어진 선명한 릴리프 화상을 통하여 도포함으로써 후막 레지스터 소자를 제조하는 방법에 관한 것으로서, 이때 얻어진 후막 페이스트는 절연 기판의 표면상의 광중합성층과 거의 동일한 두께를 갖고, 현상에 의해 제거된 레지스트 화상에 의해 둘러싸인 선예한 선형의 측연부에 의해 한정된 고정밀도 패턴에 따라 패턴화된다.

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