公开(公告)号：KR100411522B1

公开(公告)日：2003-12-18

申请号：KR1020010026849

申请日：2001-05-16

Applicant: 일본국(동경대학장소관)

Inventor： 후지시마아끼라 ,  마스다히데끼

IPC: H01J1/30

CPC classification number: C23C16/56 ,  C23C16/045 ,  C23C16/27 ,  H01J9/025 ,  H01J2201/30457

Abstract: A cylinder array of diamond having a dent in its cylinder top face is manufactured by subjecting a cylinder array of diamond to a plasma etching.

Abstract translation: 通过对金刚石圆柱体阵列进行等离子体蚀刻来制造在其圆柱体顶面具有凹陷的金刚石圆柱体阵列。 ＆lt;图像＆GT;

公开(公告)号：KR1020010105233A

公开(公告)日：2001-11-28

申请号：KR1020010026849

申请日：2001-05-16

Applicant: 일본국(동경대학장소관)

Inventor： 후지시마아끼라 ,  마스다히데끼

IPC: H01J1/30

Abstract: 본 발명은 다이아몬드로 이루어진 실린더의 선단면에 개구하는 요부나 중공부분을 갖는 다이아몬드 실린더 배열체를 제조하는 방법을 제공한다. 다이아몬드 실린더 배열체에 플라즈마 에칭을 제공하여, 각 실린더의 선단면에 요부를 형성한다. 그 결과, 각 실린더(6A)의 선단측에는 요부(13)가 형성되어지고, 요부(13)를 포위하도록 하는 실린더 형상이나 환상형의 돌기(14)가 잔류한다. 다이아몬드 실린더 배열체(15A)는 전자방출부 등에 사용가능하다.