기판 처리 시스템 및 기판 반송 방법

    公开(公告)号:WO2011102648A3

    公开(公告)日:2011-08-25

    申请号:PCT/KR2011/001048

    申请日:2011-02-17

    Abstract: 본 발명은 인라인 형태로 배치된 복수의 공정 챔버 사이에 설치된 기판 반송장치의 양방향 기판 반송부를 이용하여 기판을 양방향으로 반송하여 기판의 반송 효율을 향상시킴과 아울러, 양방향 기판 반송부의 회전시켜 기판을 정확한 위치로 반송시킬 수 있도록 한 기판 처리 시스템 및 기판 처리 방법에 관한 것으로, 기판 처리 시스템은 기판을 양방향으로 반송하는 적어도 하나의 양방향 기판 반송장치를 가지는 트랜스퍼 챔버; 및 상기 트랜스퍼 챔버를 사이에 두고 인라인 형태로 배치되어 상기 기판에 대한 반도체 제조공정을 수행하는 복수의 공정 챔버를 포함하며, 상기 적어도 하나의 양방향 기판 반송장치는, 리니어 모터에 의해 수평 방향으로 이송 가능하도록 상기 트랜스퍼 챔버 내에 설치된 이송부; 상기 이송부에 설치되어 양방향 슬라이딩을 통해 상기 기판을 공정 챔버로 반송하는 양방향 기판 반송부; 및 상기 이송부와 상기 양방향 기판 반송부 사이에 설치되어 상기 양방향 기판 반송부를 소정 각도로 회전시키는 회전부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

    2.
    外观设计
    失效

    公开(公告)号:KR3007173290000S

    公开(公告)日:2013-11-22

    申请号:KR3020130018001

    申请日:2013-04-08

    Applicant: 장재환

    Designer: 장재환 장수환

    환경친화적인 화강석 블록 도로구조
    4.
    实用新型
    환경친화적인 화강석 블록 도로구조 失效
    环保花岗岩砌块道路施工

    公开(公告)号:KR200364569Y1

    公开(公告)日:2004-10-15

    申请号:KR2020040021606

    申请日:2004-07-29

    Applicant: 장재환

    Inventor: 장재환

    CPC classification number: E01C5/02 E01C5/003 E01C11/224 E01C2201/20

    Abstract: 본 고안은 폐석을 재활용하는 화강석 블록 도로구조에 관한 것으로, 특히 화강석 블록의 상면과 측면 주연에 무수히 형성된 돌기부와 경사커팅부를 화강석 블록의 상부 가장자리부와 모서리부에 형성시킨 구조로 이루어진 환경친화적인 화강석 블록 도로구조을 제공한 것이다.

    자연석을 이용한 차도블록
    5.
    实用新型
    자연석을 이용한 차도블록 失效
    车道使用天然石块

    公开(公告)号:KR200317142Y1

    公开(公告)日:2003-06-25

    申请号:KR2020030008681

    申请日:2003-03-24

    Applicant: 장재환

    Inventor: 장재환

    CPC classification number: E01C5/02 E01C11/24 E01C2201/04

    Abstract: 본 고안은 천연산 암석을 일정형태로 가공하여 제공하는 차도블록에 관한 것으로, 천연암석의 풍부성과 우수한 결정구조 그리고 미려한 색상의 자연석을 가공하여 논-슬립형(non-slip type)의 차도용 블록을 제공하므로, 유해성분이 없이 도시미관의 향상과 투수성에 기인한 토양 및 주변식생물의 보호가 가능해지고, 각각의 무늬모양 및 색상을 달리하는 블록의 조합으로 자연적인 차선(車線)을 형성케 하거나, 미끄럼방지를 통해 안전성을 증가시킨 자연석을 이용한 차도블록에 관한 것이다.
    이를 위해 본 고안은 석회암이나 돌로마이트가 변성작용을 받아 재결정된 천연암석에 있어서, 상기 추출된 암석을 무늬결과 색상이 고루 표현될 수 있도록 일정한 형태와 크기의 블록으로 절삭가공하되, 상부의 표면으로는 미끄럼방지기능을 위해 표면 요철부를 형성시킨 것을 특징으로 하고 있다.

    온라인 광고 기능이 탑재된 휴대용 통신 기기 및 이를이용한 온라인 광고 시스템
    6.
    发明公开
    온라인 광고 기능이 탑재된 휴대용 통신 기기 및 이를이용한 온라인 광고 시스템 无效
    具有在线广告的移动通信设备和使用该媒体的在线广告系统

    公开(公告)号:KR1020090001070A

    公开(公告)日:2009-01-08

    申请号:KR1020070065158

    申请日:2007-06-29

    CPC classification number: G06Q30/0277 G06Q30/0251 H04M1/72522

    Abstract: A portable communication device and an online advertising system using the same having an online advertisement system function are provided to display the advertisement on a screen or as voice according to characteristic of the portable communication device. A communications company system(30) selectively downloads advertisement information to a plurality of communications terminals(10) through communications network(20). An advertiser system(40) uploads its own advertisement-information to the communications company system through communications network. The communications company system stores produced advertisement information to information database. The advertisement system provides the advertisement information to the advertiser system through communication network. The communication system stores the advertisement information to advertisement information database(32). The communications company system includes a communications corporation server(31), advertising information database(32), and the subscriber information database(33) and, advertiser database(34).

    Abstract translation: 提供一种便携式通信设备和使用该在线广告系统功能的在线广告系统,以根据便携式通信设备的特征在屏幕上或作为语音显示广告。 通信公司系统(30)通过通信网络(20)有选择地将广告信息下载到多个通信终端(10)。 广告系统(40)通过通信网络将其自己的广告信息上传到通信公司系统。 通信公司系统将产生的广告信息存储到信息数据库。 广告系统通过通信网络向广告主系统提供广告信息。 通信系统将广告信息存储到广告信息数据库(32)。 通信公司系统包括通信公司服务器(31),广告信息数据库(32)和用户信息数据库(33)以及广告商数据库(34)。

    7.
    外观设计
    失效

    公开(公告)号:KR3004025480000S

    公开(公告)日:2005-12-26

    申请号:KR3020050004615

    申请日:2005-02-15

    Applicant: 장재환

    Designer: 장재환

    세탁기용 세탁주머니
    8.
    实用新型
    세탁기용 세탁주머니 失效
    洗衣机的洗衣袋

    公开(公告)号:KR200309693Y1

    公开(公告)日:2003-04-03

    申请号:KR2020020039107

    申请日:2002-12-31

    Applicant: 장재환

    Inventor: 장재환

    Abstract: 본 고안은 세탁기용 세탁주머니에 관한 것으로, 세탁주머니를 폴리에틸렌과 같이 탄력성이 있는 합성수지 모노사로 직조된 망지로 형성하여 세탁시 세탁주머니가 세탁실내의 세탁수 와류현상에도 불구하고 세탁주머니가 꼬이거나 뭉침현상이 없이 부풀어 있게하고, 따라서 그 내부에 수납된 세탁물은 뭉치지 않고 세탁물사이에 세탁수의 유통이 원활하여 세탁물이 서로 접촉되는 것이 억제된 상태에서 유동하여 세탁이 잘 되도록 하고, 보풀도 일어나지 않게하며, 입구는 고무줄로 개폐할 수 있게하여 세탁물의 마찰 마손이 방지되게 구성한 것이다.

    9.
    外观设计
    失效

    公开(公告)号:KR3000657610000S

    公开(公告)日:1986-12-03

    申请号:KR3019850016122

    申请日:1985-11-15

    Applicant: 장재환

    Designer: 장재환

    10.
    外观设计
    失效

    公开(公告)号:KR3007039150000S

    公开(公告)日:2013-08-06

    申请号:KR3020130018002

    申请日:2013-04-08

    Applicant: 장재환

    Designer: 장재환 장수환

Patent Agency Ranking