나노-마이크로 프루브 및 이의 제조방법
    1.
    发明授权
    나노-마이크로 프루브 및 이의 제조방법 有权
    - 纳米微探针及其制造方法相同

    公开(公告)号:KR101585197B1

    公开(公告)日:2016-01-14

    申请号:KR1020140042963

    申请日:2014-04-10

    Abstract: 본발명은나노니들과마이크로필러의복합구조로이루어져, 마이크로단위로연동하는장치와연결이가능하고, 굴곡이있는바이오분야의침습용프루브로사용할수 있는프루브및 이의제조방법에관한것으로서, 본발명의일 실시예에따른마이크로-나노프루브는, 외력이작용하는경우구부러지는기판; 상기기판의일면에소정의간격으로형성되며, 상기기판의구부러짐에따라간격이좁아지거나넓어지는적어도한 쌍의마이크로필러; 및상기한 쌍의마이크로필러상에각각형성되는나노니들을포함한다.

    나노-마이크로 프루브 및 이의 제조방법
    3.
    发明公开
    나노-마이크로 프루브 및 이의 제조방법 有权
    纳米微探针及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020150117472A

    公开(公告)日:2015-10-20

    申请号:KR1020140042963

    申请日:2014-04-10

    Abstract: 본발명은나노니들과마이크로필러의복합구조로이루어져, 마이크로단위로연동하는장치와연결이가능하고, 굴곡이있는바이오분야의침습용프루브로사용할수 있는프루브및 이의제조방법에관한것으로서, 본발명의일 실시예에따른마이크로-나노프루브는, 외력이작용하는경우구부러지는기판; 상기기판의일면에소정의간격으로형성되며, 상기기판의구부러짐에따라간격이좁아지거나넓어지는적어도한 쌍의마이크로필러; 및상기한 쌍의마이크로필러상에각각형성되는나노니들을포함한다.

    Abstract translation: 探针技术领域本发明涉及一种探针及其制造方法。 探针:具有复杂的纳米针和微柱结构; 可以连接到以微型单元操作的设备; 并且可以用作具有曲线的生物技术领域中的侵入性探针。 根据本发明的实施例,纳米微探针包括:当施加外力时弯曲的基底; 至少一对微柱,其以预定间隔形成在所述基板的一侧上,所述间隔根据所述基板的弯曲而比预期间隔更窄或更宽; 和纳米针,其中每一个都形成在一对微柱上。

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