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公开(公告)号：WO2021225405A1
公开(公告)日：2021-11-11
申请号：PCT/KR2021/005735
申请日：2021-05-07
Applicant: 재단법인대구경북과학기술원 , 경북대학교 산학협력단
IPC: H01L29/66 , H01L29/786 , H01L21/02
Abstract: 본 발명의 바람직한 일 실시예에서는 레이저를 이용하여 고온의 열을 국부 영역에 인가하여 고순도, 고성능의 박막을 얻음과 동시에 플렉서블 기판에는 열에 의한 손상을 최소화하여 플렉서블 전자 소자의 개발이 가능하다.
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