公开(公告)号：KR100691586B1

公开(公告)日：2007-03-09

申请号：KR1020040063135

申请日：2004-08-11

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권영우 ,  조제원 ,  강병중

IPC: G01R1/067

Abstract: 본 발명은 사진 식각 기술을 이용한 저가의 대량 생산 공급이 가능하고 기존의 개방형 동축 프로브를 대체 할 수 있는 동축 개구면을 가진 평면구조의 프로브에 관한 것으로서, TEM 전자기파를 전송할 수 있는 완전 차폐된 코플래나 웨이브가이드 또는 스트립 라인과 샘플과 접촉 할 수 있는 수평면 상의 동축 개구면으로 구성된다.
동축 개구면(coaxial aperture), 사진 식각(photo etching), 프로브(probe)

公开(公告)号：KR1020050102989A

公开(公告)日：2005-10-27

申请号：KR1020040028344

申请日：2004-04-23

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권영우 ,  조제원 ,  강병중

IPC: B81B7/02

Abstract: 본 발명은 MEMS를 이용한 평면 구조의 프로브에 관한 것으로서, 본 발명의 프로브는 기판, 기판 위에 형성되어 있는 제1 도전 패턴, 제1 도전 패턴 및 기판 위에 형성되어 있는 절연막, 절연막 위에 형성되어 있으며, 절연막의 내부에 형성되어 있는 연결 부재를 통해 제1 도전 패턴과 연결되는 제2 도전 패턴을 포함하고, 제1 도전 패턴은 전송선, 전송선의 좌측 또는 우측에 형성되어 있는 접지선을 포함하며, 전송선은 연결 부재를 통해 제2 도전 패턴과 연결되는 것이 바람직하다. 따라서, MEMS 및 마이크로머시닝 기법을 이용하여 저가의 비용으로 대량생산가능한 직경 1 mm 이하의 평면 구조의 프로브를 제조함으로써 종래의 개방형 동축 프로브의 소형화에 따른 가격 상승에 대한 문제점을 해결할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020050031873A

公开(公告)日：2005-04-06

申请号：KR1020040063135

申请日：2004-08-11

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권영우 ,  조제원 ,  강병중

IPC: G01R1/067

CPC classification number: G01R1/067 ,  G01R1/0408 ,  G01R31/2801

Abstract: A plastic structure probe having a coaxial aperture is provided to reduce the cost of mass production and to fabricate the probe with a small aperture by using photo etching technology. The first substrate has a front and a back. The first conductive film is formed on the front of the first substrate and has a ring type aperture. The second substrate has a front and a back, and its front contacts with the back of the first substrate. A coplanar waveguide conductive pattern is formed on the front of the second substrate, and includes a center conductive line and a conductive line on both sides of the center conductive line. The second conductive film is formed on the back of the second substrate. The third conductive film is formed on the first substrate and on a side except a partial side of the second substrate. The first plug connects the aperture center of the first conductive film with the center conductive line of the waveguide conductive pattern.

Abstract translation: 提供具有同轴孔径的塑料结构探针，以降低批量生产的成本，并通过使用光蚀刻技术制造具有小孔径的探针。 第一衬底具有前部和后部。 第一导电膜形成在第一基板的前面并且具有环形孔。 第二基板具有前部和后部，并且其前部与第一基板的背面接触。 共面波导导体图案形成在第二基板的前面，并且在中心导电线的两侧包括中心导线和导线。 第二导电膜形成在第二基板的背面上。 第三导电膜形成在第一基板上以及除了第二基板的局部侧之外的一侧。 第一插头将第一导电膜的孔径中心与波导导体图案的中心导线连接。

公开(公告)号：KR100596601B1

公开(公告)日：2006-07-03

申请号：KR1020040028344

申请日：2004-04-23

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권영우 ,  조제원 ,  강병중

IPC: B81B7/02

Abstract: 본 발명은 MEMS를 이용한 평면 구조의 프로브에 관한 것으로서, 본 발명의 프로브는 기판, 기판 위에 형성되어 있는 제1 도전 패턴, 제1 도전 패턴 및 기판 위에 형성되어 있는 절연막, 절연막 위에 형성되어 있으며, 절연막의 내부에 형성되어 있는 연결 부재를 통해 제1 도전 패턴과 연결되는 제2 도전 패턴을 포함하고, 제1 도전 패턴은 전송선, 전송선의 좌측 또는 우측에 형성되어 있는 접지선을 포함하며, 전송선은 연결 부재를 통해 제2 도전 패턴과 연결되는 것이 바람직하다. 따라서, MEMS 및 마이크로머시닝 기법을 이용하여 저가의 비용으로 대량생산가능한 직경 1 mm 이하의 평면 구조의 프로브를 제조함으로써 종래의 개방형 동축 프로브의 소형화에 따른 가격 상승에 대한 문제점을 해결할 수 있다.
MEMS, 마이크로머시닝, 코플래나 웨이브가이드, 프로브, 평면구조, 동축개구면, IC integration