公开(公告)号：KR101014764B1

公开(公告)日：2011-02-15

申请号：KR1020050037884

申请日：2005-05-06

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 박영준 ,  천준호 ,  공병돈

IPC: H01L29/78 ,  C01B31/02 ,  G01N27/414 ,  B82Y15/00

Abstract: 본 발명은 높은 감도를 가지면서도 화학적/생물학적 센서로 응용이 가능한 탄소나노튜브 절연체 반도체 시스템 및 그의 제조 방법을 제공하기 위한 것으로, 본 발명의 화학적/생물학적 센서를 위한 탄소나노튜브 절연체 반도체 시스템은 기판층, 상기 기판층 상의 다중벽 탄소나노튜브가 합성된 알루미나 나노틀, 및 상기 알루미나 나노틀 상의 상기 다중벽 탄소나노튜브를 덮는 전해질 용액, 상기 알루미나 나노틀의 에지를 덮고 상기 알루미나 나노틀의 중앙부분-센서 영역-을 오픈시키는 커버층, 및 상기 전해질용액의 전위를 고정시키기 위한 기준전극을 포함하고, 이와 같은 본 발명의 알루미나 나노틀 제작, 다중벽 탄소나노튜브 합성 및 본딩공정을 통해 제작된 ECIS 시스템은 높은 반응성을 갖는 다중벽 탄소나노튜브의 끝단을 기능화하여 나노 구조의 높은 감도를 활용할 수 있으므로 성능이 우수한 화학적/생물학적 센서를 구현할 수 있는 효과가 있다.
ECIS, EIS, 전해질용액, 탄소나노튜브, 다중벽, MWCNT

公开(公告)号：KR1020060115470A

公开(公告)日：2006-11-09

申请号：KR1020050037884

申请日：2005-05-06

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 박영준 ,  천준호 ,  공병돈

IPC: H01L29/78 ,  C01B31/02 ,  G01N27/414 ,  B82Y15/00

CPC classification number: G01N27/4146 ,  B82Y15/00 ,  C01B32/158 ,  C01B2202/06 ,  H01L21/02115

Abstract: An ECIS(Electrolyte Carbon nano tube Insulator Semiconductor system) for a chemical and biological sensor is provided to acquire a high sensibility by using an improved alumina nano frame with a multi-wall carbon nano tube. An ECIS for a chemical and biological sensor comprises a substrate layer(100), an alumina nano frame, and an electrolyte. The alumina nano frame is formed on the substrate layer. The alumina nano frame includes a multi-wall carbon nano tube(103). The electrolyte(105) is used for covering the multi-wall carbon nano tube of the alumina nano frame. The ECIS further includes a cover layer for covering an edge portion of the alumina nano frame.

Abstract translation: 提供了一种用于化学和生物传感器的ECIS（电解质碳纳米管绝缘体半导体系统），以通过使用具有多壁碳纳米管的改进的氧化铝纳米框架来获得高灵敏度。 用于化学和生物传感器的ECIS包括基底层（100），氧化铝纳米框架和电解质。 氧化铝纳米框架形成在基底层上。 氧化铝纳米框架包括多壁碳纳米管（103）。 电解质（105）用于覆盖氧化铝纳米框架的多壁碳纳米管。 ECIS还包括用于覆盖氧化铝纳米框架的边缘部分的覆盖层。