公开(公告)号：KR100969551B1

公开(公告)日：2010-07-12

申请号：KR1020087021065

申请日：2006-01-31

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 서갑양 ,  김필남

IPC: H01L21/027 ,  B82Y40/00

CPC classification number: B81C1/00071 ,  B01L3/5027 ,  B81B2201/058

Abstract: 간단한 공정을 통하여 마이크로 사이즈뿐만 아니라 나노 사이즈의 채널 및 구조물을 용이하게 형성할 수 있는 마이크로/나노 채널의 형성방법과 마이크로/나노 구조물의 형성방법이 개시되어 있다. 이를 위하여 제1 기판 상에 UV 경화성 고분자 패턴을 형성하고, UV 경화성 고분자 패턴과 UV 경화성 고분자층이 형성된 제2 기판을 정전기적 인력을 사용하여 접촉시킨 후 UV 경화성 고분자 패턴과 상기 UV 경화성 고분자층의 접촉면이 중합반응에 의하여 가교결합 하도록 자외선을 조사하여 채널을 형성시킨다. 또한, 고분자 패턴과 제3 기판을 가역적으로 접합시킨 후 예비중합체(prepolymer)를 유동시켜 상기 제3 기판 상에 예비중합체 패턴을 형성한 후 가역적으로 접합된 제3 기판을 제거함으로써 미세 구조물의 형성할 수 있다. 정전기적 인력이 발생될 수 있는 고분자라면 특별한 제한없이 사용할 수 있어 적용범위가 매우 광범위하다. 그리고 마이크로뿐만 아니라 나노 사이즈의 채널이나 구조물을 기본적으로 동일한 공정으로 제조할 수 있게 된다. 또한, UV조사 여부나 조사량에 따라 가역적 또는 비가역적 접합을 자유롭게 선택하여 형성할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020080103541A

公开(公告)日：2008-11-27

申请号：KR1020087021065

申请日：2006-01-31

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 서갑양 ,  김필남

IPC: H01L21/027 ,  B82Y40/00

CPC classification number: B81C1/00071 ,  B01L3/5027 ,  B81B2201/058 ,  B82Y40/00

Abstract: A method for forming a micro-channel and a microstructures formation method using the same are provided to form the micro/nano channel and the excellent micro/nano structures with the excellent bio compatibility using the polymer in which the static attraction can be induced. A method for forming a micro-channel includes the step for forming the UV curable polymer pattern(28) on the first substrate(10); the step for welding the second substrate in which the UV curable polymer pattern is formed and the UV curable polymer layer with the static attraction; the step for forming the channel by irradiating the ultraviolet ray in order to cross-link with the welded UV curable polymer pattern.

Abstract translation: 提供一种形成微通道的方法和使用该微通道的微结构形成方法以形成具有优异的微/纳米通道的优异的微/纳米结构，其具有优异的生物相容性，使用可引起静电吸引的聚合物。 形成微通道的方法包括在第一基板（10）上形成UV可固化聚合物图案（28）的步骤。 焊接形成有UV固化聚合物图案的第二基板和具有静电吸引力的UV固化聚合物层的步骤; 通过照射紫外线形成通道以便与焊接的可UV固化聚合物图案交联的步骤。