플로팅 게이트 반도체 나노구조 바이오센서 및 이의 제조방법

    公开(公告)号:WO2018182342A1

    公开(公告)日:2018-10-04

    申请号:PCT/KR2018/003745

    申请日:2018-03-29

    Abstract: 플로팅 게이트 반도체 나노구조 바이오센서 및 이의 제조방법에서, 상기 플로팅 게이트 반도체 나노구조 바이오센서는 기판, 상기 기판 상에 형성된 절연층, 상기 절연층 상에 돌출되게 형성된 나노구조, 상기 나노구조를 사이에 두고 상기 절연층 상에 형성된 소스전극 및 드레인 전극, 금속 패턴 또는 폴리실리콘 패턴으로 구성되어 상기 나노구조와 접촉하며 연장되는 플로팅 게이트 및 일단은 상기 플로팅 게이트 상의 고정화분자와 결합하여 고정되며 타단은 바이오분자와 결합하는 생체감지물질을 포함한다.

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