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公开(公告)号:WO2018182342A1
公开(公告)日:2018-10-04
申请号:PCT/KR2018/003745
申请日:2018-03-29
Applicant: 재단법인 오송첨단의료산업진흥재단
IPC: G01N27/327 , H01L29/06
Abstract: 플로팅 게이트 반도체 나노구조 바이오센서 및 이의 제조방법에서, 상기 플로팅 게이트 반도체 나노구조 바이오센서는 기판, 상기 기판 상에 형성된 절연층, 상기 절연층 상에 돌출되게 형성된 나노구조, 상기 나노구조를 사이에 두고 상기 절연층 상에 형성된 소스전극 및 드레인 전극, 금속 패턴 또는 폴리실리콘 패턴으로 구성되어 상기 나노구조와 접촉하며 연장되는 플로팅 게이트 및 일단은 상기 플로팅 게이트 상의 고정화분자와 결합하여 고정되며 타단은 바이오분자와 결합하는 생체감지물질을 포함한다.
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公开(公告)号:KR101937157B1
公开(公告)日:2019-01-11
申请号:KR1020170039922
申请日:2017-03-29
Applicant: 재단법인 오송첨단의료산업진흥재단
IPC: G01N27/327 , H01L29/06
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公开(公告)号:KR1020180110414A
公开(公告)日:2018-10-10
申请号:KR1020170039922
申请日:2017-03-29
Applicant: 재단법인 오송첨단의료산업진흥재단
IPC: G01N27/327 , H01L29/06
CPC classification number: G01N27/327 , H01L29/06
Abstract: 플로팅게이트반도체나노구조바이오센서및 이의제조방법에서, 상기플로팅게이트반도체나노구조바이오센서는기판, 상기기판상에형성된절연층, 상기절연층상에돌출되게형성된나노구조, 상기나노구조를사이에두고상기절연층상에형성된소스전극및 드레인전극, 금속패턴또는폴리실리콘패턴으로구성되어상기나노구조와접촉하며연장되는플로팅게이트및 일단은상기플로팅게이트상의고정화분자와결합하여고정되며타단은바이오분자와결합하는생체감지물질을포함한다.
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